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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本SONIC超音波微量流量计
型号与结构
μLF-300:一体式,集成传感器与转换器,安装便捷SONIC索尼克株式会社。
μLF-300S:传感器分离型,转换器与检测头分离,适合长距离布线或恶劣环境SONIC索尼克株式会社。
配套传感器:μLT-4I(1/4")、μLT-8I(1/8"),对应不同管径与量程SONIC索尼克株式会社
非接触测量:传感器不接触流体,无压损、无污染,适合洁净与药液场景。
微流量覆盖:可测至 1 mL/min,量程宽、响应快。
高精度稳定:数字信号处理(DSP)提升微流量测量精度,抗干扰强。
耐腐蚀适配:PFA 配管耐化学腐蚀,适配多种药液与高纯液体。
灵活安装:分离型(S 型)适配复杂布局,一体式安装简便。
半导体制造:IPA、光刻液、超纯水微量供给与监控。
精密化工:试剂点滴、反应釜微量进料、清洗液流量控制。
实验室分析:样品计量、滴定系统、小型循环系统。
日本原装・超音波时差法
日本 SONIC 原厂制造,采用超声波传播时间差原理,数字信号处理,专为0.1mL/min 起微量液体高精度计量,半导体 / 医药 / 化工精密场景。
非接触・无压损・耐腐
传感器非接触流体,零压力损失;管路采用PFA 氟树脂材质,耐强酸强碱、耐高温(10~80℃),适配纯水、IPA、各类药液。
超宽量程・高响应
量程覆盖 0~1000/4000 mL/min(1/8"/ 1/4" 管),每秒 100 次采样,响应极快;重复性 ±0.2%,满量程精度 ±0.5% RD。
分离 / 一体双款・小型化
μLF-300S:传感器分离型,体积小巧(90×25×20mm),狭小空间易安装
μLF-300:一体型,集成显示,即装即用
防护 IP65,DC24V 供电,支持 4~20mA / 脉冲 / 通讯输出。
半导体 / 医药专用
专为半导体清洗 / 蚀刻 / 显影、医药配液、精密点胶设计,无金属污染、无脉动干扰,满足高纯度流体管控要求。
| 项目 | μLF-300S(μLT-8I) | μLF-300S(μLT-4I) | μLF-300(μLF-308I/304I) |
|---|---|---|---|
| 流量范围 | 0–1000 mL/min | 0–4000 mL/min | 0–1000/4000 mL/min |
| 测量精度 | ±0.5% RD(200–1000 mL/min);±1 mL/min(<200 mL/min) | 同左(800–4000 mL/min);±4 mL/min(<800 mL/min)株式会社ソニック | ±1% RD |
| 适用液体 | 纯水、水溶液、药液、油类(非强腐蚀)SONIC索尼克株式会社 | 同左 | 同左 |
| 流体温度 | 15–80℃(>60℃需确认)SONIC索尼克株式会社 | 10–60℃(>60℃需确认) | 同左 / 同右 |
| 流体压力 | ≤0.5 MPaSONIC索尼克株式会社 | 同左 | 同左 |
| 环境温度 | 0–50℃(无结露)株式会社ソニック | 同左 | 同左 |
| 配管材质 | PFA 树脂株式会社ソニック | 同左 | 同左 |
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