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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION韩国DK-LOK不锈钢超高纯压力仪表压力表参数
接口规格:1/4 英寸 高纯标准外螺纹(A 型)
表盘结构:机械式波登管压力表,多单位复合刻度(bar/psi/inHg)
量程规格(原厂双标配)
低压真空表:-1~11 bar /-30~160 psi,支持负压监测
高压进气表:0~200 bar / 0~3000 psi
洁净等级:UHP 超高纯级,ASTM G-93 无油无尘洁净标准,SEMI 半导体行业适配
接液材质:全316L 不锈钢,EP 电解抛光低析出处理
精度等级:半导体专用高精度等级,压力读数误差极小
工作温度:-20℃ ~ +70℃ 宽温域适配
适配介质:半导体全系列超高纯气体、腐蚀性特种工艺气体、高纯氧气、真空管路介质全兼容。
韩国DK-LOK不锈钢超高纯压力仪表压力表核心产品优势
UHP 全流程超高纯洁净
全 316L 不锈钢本体 + EP 抛光 + 无油无尘制程,零杂质析出, 晶圆厂特气系统严苛洁净要求。
负压真空全量程兼容
低压表自带负压区间,同时覆盖正压供气、真空回路监测,适配半导体多变气路工况。
原厂 1:1 专属配套
接口、量程、洁净度 匹配品牌 UHP 全系列高纯阀件,无需转接直接原装安装。
多单位通用表盘
bar/psi/inHg 三单位同表盘,国内外项目、标书参数、多标准工况通用读数。
全不锈钢长寿命结构
全金属耐腐本体,抗特种气体腐蚀,长期工况运行稳定、使用寿命长。
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