描述：韩国镀膜设备专用工艺气体流量控制仪
本产品为韩国 FEMTOSCIENCE 品牌 SB-100/SB-200 系列气体质量流量控制器（MFC），是专为等离子清洗、派瑞林镀膜、真空处理等设备设计的高精度工艺气体流量控制设备，为各类真空工艺提供精准稳定的气体流量保障。

韩国镀膜设备专用工艺气体流量控制仪

产品介绍

本产品为韩国 FEMTOSCIENCE 品牌 SB-100/SB-200 系列气体质量流量控制器（MFC），是专为等离子清洗、派瑞林镀膜、真空处理等设备设计的高精度工艺气体流量控制设备，为各类真空工艺提供精准稳定的气体流量保障。

设备采用成熟的热式质量流量控制技术，可对工艺气体的质量流量进行高精度测量与控制，流量重复性好，能有效保证等离子清洗、派瑞林镀膜等工艺的一致性与稳定性；提供 100 sccm 与 200 sccm 两种流量规格，支持 N₂、O₂、Air、H₂、Ar、He、CO₂、N₂O 等多种工艺气体，适配多种工艺需求；采用 ¼" LOK 标准接头，安装连接便捷，适配工业级气体管路系统；-20℃~65℃的宽工作温度范围，可稳定运行于实验室与工业环境。作为 FEMTOSCIENCE 原厂推荐的配套设备，与品牌旗下等离子清洗、派瑞林镀膜等设备兼容性强，可无缝对接设备控制系统，实现工艺气体流量的精准调控。广泛应用于半导体、微电子、高分子材料处理、科研实验室等场景，为等离子清洗、真空镀膜、材料改性等工艺提供可靠的工艺气体流量支持。

韩国镀膜设备专用工艺气体流量控制仪产品核心特性

韩国原厂成熟 MFC 技术

源自韩国 FEMTOSCIENCE 专业气体控制设备品牌，热式质量流量控制技术成熟稳定，流量精度高、重复性好，是工业与实验室场景高可靠性 MFC。

宽范围气体兼容性

支持 N₂、O₂、Ar、He、H₂、CO₂等多种工艺气体，可满足等离子清洗、派瑞林镀膜、材料改性等多种工艺的气体配比需求。

双流量规格适配广

提供 100 sccm 与 200 sccm 两种流量规格，可匹配不同设备的工艺气体流量需求，为用户提供灵活的选型方案。

工业级标准接口设计

采用 ¼" LOK 标准接头，安装连接便捷，适配工业级气体管路系统，无需额外转换接头即可直接安装。

宽温区稳定运行

-20℃~65℃的宽工作温度范围，可稳定运行于实验室与工业环境，不受环境温度波动影响，保证工艺气体流量的稳定性。