描述：气体质量流量控制器高精度数字热式流量计
控制阀采用可现场更换的模块化结构，无需额外调试即可快速维护；金属密封型号可适配半导体等高纯度气体应用，同时提供耐腐蚀材质选项。

气体质量流量控制器高精度数字热式流量计

完整产品介绍

Bronkhorst EL-FLOW SELECT 系列是专为洁净干燥气体设计的数字热式质量流量控制器（MFC），由荷兰 Bronkhorst（布琅轲锶特）推出，广泛应用于半导体、实验室、化工、能源等领域的气体流量精准控制。

核心优势

精度与稳定性

采用热式质量流量传感技术，标准精度达 ±0.5% RD + 0.1% FS，数字模式下量程比最高 1:187.5，流量测量几乎不受温度、压力波动影响，长期重复性优异。

快速响应与精准控制

响应时间最快低至 200ms，搭配比例电磁控制阀，可实现快速平稳的流量调节，满足工艺 / 实验中对流量动态控制的严苛要求。

多场景灵活适配

支持多气体 / 多量程（MFMR） 功能，可现场切换气体类型与流量范围；提供通用型、高压型、微流量型等多款型号，耐压覆盖 100~400bar，适配从低压实验室到高压工业的全场景需求。

数字通讯与智能管理

自带数字电路板，支持 RS232、CANopen、EtherCAT 等主流工业总线协议，可实现远程监控、参数配置与故障自诊断，方便集成至自动化系统。

模块化与易维护设计

控制阀采用可现场更换的模块化结构，无需额外调试即可快速维护；金属密封型号可适配半导体等高纯度气体应用，同时提供耐腐蚀材质选项。

气体质量流量控制器高精度数字热式流量计典型应用场景

半导体制造工艺气体控制

实验室气相色谱、催化反应流量控制

化工工艺气体配比与流量调节

能源与环境检测设备气体供给

医疗设备、分析仪器的气体流量管理