描述：化学用浮子流量计日式精密化学流量表
FM-PF 系列是 TOFCO 专为高纯化学品、腐蚀性药液设计的全氟树脂浮子流量计（面积式），主打PFA 一体成型、强耐腐蚀、低成本可视化流量测量，是半导体 / 化工小口径药液回路的经典经济型机型。

化学用浮子流量计日式精密化学流量表

一、产品概述

FM-PF 系列是 TOFCO 专为高纯化学品、腐蚀性药液设计的全氟树脂浮子流量计（面积式），主打PFA 一体成型、强耐腐蚀、低成本可视化流量测量，是半导体 / 化工小口径药液回路的经典经济型机型。

测量原理：变面积式（浮子 / 转子）

核心类型：标准型（Reasonable）、定制型（Custom）

接液材质：PFA（主体）、PCTFE（接头）、PTFE（浮子），无金属接触。

二、化学用浮子流量计日式精密化学流量表核心特点

全 PFA 一体成型，强腐蚀零泄漏

本体PFA 一体成型，无切削面、无 O 形圈，耐受强酸、强碱、有机溶剂、高纯药液，适配半导体蚀刻液、清洗液、超纯水。

透明可视，读数直观

透明锥形管 + 浮子，现场直读流量，无需供电，适合简易监测与旁路观察。

宽量程多口径，小流量精准

口径：Rc1/4"～Rc3/4"（DN8～DN20）东フロコーポレーション株式会社

流量：2mL/min～100L/min（按型号）

温度：≤40℃（标准）

压力：0.35MPa（G）

精度：±5%FS。

可选针阀 + 报警开关，功能灵活

可选顶部 PFA 针阀（流量调节）；可加装光电 / 磁控开关，实现高低流量报警东フロコーポレーション株式会社。

面板安装，低成本免维护

结构简单、无活动部件磨损，免维护；标准面板式安装，垂直（下进上出）安装即可。

三、典型应用

半导体：超纯水、稀释药液、化学品输送旁路

化工：酸碱溶液、有机溶剂、实验室小流量配液

光伏：CMP 浆料、清洗液、超纯水系统支路

制药：纯化水、无菌药液、小剂量试剂供给。