描述：日本長野計器NAGANO KEIKI 压力传感器，针对高纯气体、药液、超纯水、腐蚀性化学品等介质设计，采用耐腐蚀材质与高洁净结构，低析出，可精准监测管路、腔体内部压力。具备高精度、高稳定性、抗腐蚀、洁净度达标等优势，适配晶圆制造、刻蚀、清洗、气相沉积、化学品输送等半导体精密制程压力监控。

日本長野計器NAGANO KEIKI 压力传感器

品牌：長野計器 NAGANO KEIKI

型号：ZT11（半導体産業用圧力センサ）

产品全称：ZT11 半导体产业用高精度洁净型压力传感器

核心特点：半导体专用、高洁净无析出、耐腐蚀、测量精准、长期稳定、抗振动、适配高纯介质、标准化信号输出

• 运行模式：通过内置压力感应元件检测管路 / 腔体压力，转换为标准电信号输出，实时反馈压力数据，用于监测、联锁、报警与自动化控制

• 设备类型：工业精密压力测量传感器

• 产地：进口

• 适用行业：半导体晶圆制造、蚀刻设备、清洗设备、CVD/PVD 气相沉积、高纯气体管路、超纯水系统、化学品供液系统、精密真空压力监测

• 外观结构：小型紧凑型本体，适配半导体设备狭小空间，洁净型接头设计

• 整机特点：耐酸碱腐蚀、零点漂移小、响应速度快、适配无尘车间环境

• 自定义标签：长野计器压力传感器、ZT11 半导体传感器、高纯介质压力变送器、耐腐蚀压力监测元件、洁净型压力传感器

测量介质：高纯气体、超纯水、酸碱药液、腐蚀性化学品

结构材质：耐腐蚀 / 高洁净专用材质，低离子析出

测量精度：高精度级，满足半导体严苛制程要求

输出信号：标准模拟量输出，可对接 PLC、工控系统

压力范围：适配半导体常用低压 / 中压区间

使用环境：无尘室、洁净车间，抗电磁干扰

日本長野計器NAGANO KEIKI 压力传感器