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日本 LINTEC 高速响应热式质量流量控制器

描述：日本 LINTEC 高速响应热式质量流量控制器，采用热式传感方式，可对各类工艺气体实现快速、稳定、精准的流量测量与闭环调节。相比常规 MFC，在响应速度、流量稳定性、抗压力波动方面表现突出，适配镀膜、蚀刻、清洗、掺杂等对气体配比时序要求严格的自动化工艺。

  • 产品型号：MC‑7000 系列
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-05-22
  • 访问量：39
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本 LINTEC 高速响应热式质量流量控制器

品牌：リンテック LINTEC

型号：MC‑7000 シリーズ（高速応答サーマルマスフローコントローラ）

产品全称：MC‑7000 系列 高速响应热式质量流量控制器

核心特点：高速响应调节、热式质量测量、压力波动适应性强、流量控制稳定、密封性优异、适配腐蚀性气体、通讯兼容性好

  • 运行模式：通过热式传感检测气体质量流量，内部阀件快速调节开度，实时闭环控制输出流量，按照设备指令精准配比各类工艺气体，保障制程气体供给稳定可控。

  • 设备类型：半导体工艺气体流量控制元件

  • 产地：进口

  • 适用行业：半导体晶圆加工、PVD/CVD 镀膜、等离子蚀刻、薄膜沉积、LED 制造、精密材料气相工艺、真空设备气路系统

  • 外观结构：紧凑型模块化本体，气路接口标准化，适配真空管路、设备内嵌安装

  • 整机特点：响应速度快、流量重复性高、耐工艺气体腐蚀、长期运行漂移小、便于系统集成

  • 自定义标签：LINTEC 高速 MFC、MC‑7000 质量流量控制器、热式气体流量控制器、半导体气路控制、精密工艺气体调节元件

  • 测量原理：热式质量流量检测方式

  • 响应特性：高速闭环调节，缩短流量稳定时间

  • 适用气体：惰性气体、反应性气体、部分腐蚀性工艺气体

  • 流量量程：覆盖半导体常用中小流量区间

  • 通讯方式：兼容行业通用信号与通讯协议

  • 密封材质：适配半导体洁净、耐腐蚀工况

  • 安装形式：标准管路安装，可集成于真空设备模组



日本 LINTEC 高速响应热式质量流量控制器

1. 高速响应特性，匹配半导体时序化工艺要求

针对半导体设备脉冲式、分段式气体供给需求，优化内部阀控与算法，流量启停、切换、配比速度更快，可贴合蚀刻、镀膜等工序的时序节拍，减少气体配比偏差。

2. 抗压力波动能力强，稳定真空管路流量输出

真空腔体内部压力易出现瞬时波动，普通流量控制器易受干扰。本系列对压力变化适应性更好，在管路压力波动条件下仍保持流量稳定，降低制程不良风险。

3. 热式测量不受温度影响，质量流量精准可控

采用质量流量检测，区别于体积式测量，不受气体温度变化干扰，直接输出真实质量流量，保证不同工况下气体配比一致性，提升薄膜均匀性、蚀刻深度稳定性。

4. 适配洁净与腐蚀环境，满足半导体长期运行需求

气路部件采用耐腐、洁净材质，不易积尘污染，可用于含微量腐蚀性气体的工艺环境，长期使用性能衰减小，适合产线 24 小时连续运转。

5. 标准化结构设计，便于日系设备配套集成

尺寸、接口、通讯协议贴合日系半导体设备规格，可直接替代原有流量控制器，快速导入现有自动化系统，降低设备改造与调试成本。
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