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日本富士工業FUJI 超声波单成分浓度计

描述：日本富士工業FUJI 超声波单成分浓度计，利用超声波在液体中传播速度随浓度变化的原理，对清洗液、蚀刻液、剥离液等单一成分药液进行实时浓度测量。无试剂消耗、非接触检测，可实现管路在线连续监测，稳定管控药液配比，保障晶圆清洗、蚀刻等工序品质一致性。

  • 产品型号：FUD‑1 Model‑13
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-05-22
  • 访问量：65
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本富士工業FUJI 超声波单成分浓度计

品牌：富士工業 FUJI INDUSTRY（日本原装）

型号：FUD‑1 Model‑13（超音波単成分濃度計）

产品全称：FUD‑1 Model‑13 半导体用超声波单成分浓度计

核心特点：超声波非接触测量、单成分精准检测、在线实时监测、无耗材、响应速度快、耐药液腐蚀、适配半导体洁净工艺

  • 运行模式：探头向药液发射超声波，通过检测声速变化换算对应浓度值，实时输出数据至控制系统，实现药液浓度监控、报警与配比联动，稳定湿法工艺药液品质。

  • 设备类型：半导体专用药液浓度在线检测仪表

  • 产地：进口

  • 适用行业：半导体晶圆清洗、湿法蚀刻、显影剥离、光伏 / 面板湿法制程、精密电子化学品管控

  • 外观结构：管路安装式探头 + 信号变送器，适配药液循环管路在线集成

  • 整机特点：无易损耗材、维护简单、抗气泡干扰、长期漂移小、洁净度达标

  • 自定义标签：富士工業超声波浓度计、FUD‑1 Model‑13 药液检测仪、半导体湿法在线监测、单成分浓度管控、超声波液体分析仪表

  • 检测原理：超声波声速检测法

  • 适用对象：半导体常用单成分酸碱药液、溶剂、清洗液

  • 测量方式：管路在线连续测量

  • 信号输出：标准工业信号，可对接 PLC、流量控制器等设备

  • 探头材质：耐腐蚀、低析出材质，适配半导体洁净环境

  • 抗干扰：优化结构降低微小气泡、杂质对测量影响

  • 适用工况：常温湿法循环管路、24 小时连续在线监测


日本富士工業FUJI 超声波单成分浓度计

1. 超声波非接触检测，适配半导体高洁净要求

区别于折光、电导式检测，采用超声波测量，探头不直接干扰药液成分，无离子析出、无二次污染，满足半导体工艺对药液纯度的严格要求。

2. 单成分专用优化，针对性管控湿法核心药液

针对半导体常用单一化学试剂调校，排除多成分干扰，浓度识别精准稳定，用于固定配方清洗、蚀刻工序，减少晶圆表面腐蚀不均、清洗不干净等不良。

3. 无耗材在线监测，降低长期运维成本

无需更换试剂、电极等消耗品，探头使用寿命长，可长期在线运行，减少停机维护频次，适配产线连续量产节奏。

4. 可与供液系统联动，实现药液闭环管控

可与液体流量控制器、供液泵联动，根据浓度自动调节补药或排放，稳定药液浓度区间，减少人工频繁取样化验。

5. 日系专用设备，适配整套半导体湿法产线

和日系流量控制器、管路软管、工控控制器规格匹配，可无缝集成于湿法清洗设备，整体兼容性好，适合日系设备国产化配套与改造。
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