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日本YAMATO 超高纯气体专用压力调节器

描述：日本YAMATO 超高纯气体专用压力调节器，专为高纯氮气、氩气、特种反应气体等设计。通过精密内部结构与超高纯处理工艺，实现稳定减压、调压，同时严格控制杂质析出、内部微尘，满足半导体供气系统对洁净度、稳定性、安全性的严苛要求。HL/LL 为不同压力区间型号，适配高压输入、低压精密调节两种工况。

  • 产品型号：SRQ‑1HL / SRQ‑1LL
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-05-22
  • 访问量：76
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本YAMATO 超高纯气体专用压力调节器

  • 品牌：ヤマト産業 YAMATO SANGYO

  • 型号：SRQ‑1HL / SRQ‑1LL（超高純度ガス用圧力調整器）

  • 产品全称：SRQ‑1HL・SRQ‑1LL 超高纯气体用压力调节器

  • 核心特点：超高纯级别处理、精密调压稳定、低析出低微尘、耐压适配性好、密封性优异、适配半导体工艺气体、安全防爆结构

  • 运行模式：对钢瓶或管路输入的高压超高纯气体进行一级精密减压，稳定输出设定压力，为流量控制器、反应腔体提供压力平稳、洁净无杂质的工艺气源。

  • 设备类型：超高纯气体精密调压配件

  • 产地：进口

  • 适用行业：半导体晶圆制程、薄膜沉积、蚀刻工艺、特种气体供给、光伏 / 平板显示、实验室超高纯气体管路

  • 外观结构：小型一体化阀体结构，采用高纯表面处理，适配 VCR 等半导体标准接口

  • 整机特点：调压波动小、内部洁净度高、耐腐蚀、长期使用性能稳定、适配 24 小时连续供气

  • 自定义标签：YAMATO 高纯减压阀、SRQ‑1HL 压力调节器、SRQ‑1LL 调压阀、半导体供气减压元件、超高纯气体管路配件

  1. 适用介质：超高纯惰性气体、特种工艺气体、部分洁净反应气体

  2. 型号区分：HL 适用于高压输入工况，LL 用于低压区间精密调压

  3. 表面处理：电解抛光、高纯清洗，控制金属离子与微粒析出

  4. 密封结构：耐腐蚀密封件，适配高纯气体长期使用

  5. 接口规格：匹配半导体行业标准管路接头

  6. 调压性能：低压侧压力波动小，保障后端流量控制稳定

  7. 适用工况：半导体洁净供气系统、不间断连续供气

日本YAMATO 超高纯气体专用压力调节器

1. 分型号适配高低压需求，覆盖不同供气工况

HL、LL 两款针对不同压力范围设计，高压段减压、低压段微调节分工明确，可灵活用于钢瓶一级减压、管路二级稳压，适配整套高纯供气系统布局。

2. 超高纯内部处理，避免污染半导体工艺气体

阀体内部经过精密电解抛光与严格清洗，减少微粒、金属离子析出，不会污染高纯气体，符合半导体制程对气源洁净度的要求。

3. 精密稳压结构，保障后端 MFC 流量稳定输出

压力调节平稳，抗前端压力波动，让后端质量流量控制器获得稳定输入压力，减少气体流量波动，提升镀膜、蚀刻等工艺一致性。

4. 密封性与安全性兼顾，适配特种气体使用

阀体结构牢固，密封性能优异，可应对部分微量腐蚀性、反应性气体，同时降低泄漏风险，保障供气系统运行安全。

5. 日系半导体管路标准配套，兼容性强

与日系 MFC、微型软管、管路接头规格统一，可直接集成在整套日系供气系统中，布局简洁，降低设备调试与维护难度。


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