描述：瑞士axetris 热式气体质量流量计。依托品牌自研铂基 MEMS 芯片传感技术，专门用于各类微量工艺气体的质量流量实时测量，无需温压补偿即可输出精准质量流量数值。

瑞士axetris 热式气体质量流量计

1、核心铂基 MEMS 热式测量原理

2、MFM2100 全系列机型区分（2120 定位）

1. MFM 2120（主推款）：0-5V 模拟电压输出 + RS232 数字双通讯，兼顾简易工控仪表读取与上位机数字采集，实验室、通用设备集成首要选择，覆盖全部标准微流量量程。

2. MFM 2130：RS232 数字通讯 + 4-20mA 电流模拟输出，适配长线缆工业现场，抗信号干扰更强。

3. MFM 2140：纯 RS485 Modbus 数字通讯款，多台流量计组网集中管控，自动化产线专用。

4. MFM 2150：高压工况定制版本，强化内部密封结构，适配高压工艺气体管路。

   全系机械外形、气路接口、供电规格统一，仅电气输出模块区分，客户可根据控制系统自由选型替换。

3、信号输出与电气配置优势

• 模拟信号：0~5V 直流电压输出，对应 0~ 满量程流量，普通数显仪表、采集卡可直接读取；

• 数字信号：RS232 全双工串口通讯，支持上位机实时读取瞬时流量、累计流量、设备状态、气体参数，可下发指令切换气体种类、校准零点。

  整机标准 24VDC 直流供电，功耗低，设备内置电源稳压电路，电压小幅波动不会影响测量精度；机身标配标准 DB9 数据接口，插拔便捷，接线规范，适配行业通用工控线束。

4、机身气路与机械结构特点

1. 紧凑型尺寸：整机体积小巧，不占用设备内部安装空间，方便嵌入各类分析仪器、镀膜设备内部；

2. 双卡套标准气口：两侧通用双卡套不锈钢气路接头，适配常规金属气管，拆装密封便捷，漏气风险低；

3. 铝合金密封壳体：外壳为硬质铝合金，内部电路板密封隔离，抵御车间粉尘、轻微水汽，抗震动，运输与设备运行过程不易损坏；

4. 一体式旁路流道：内部分流结构一体加工，无细小易堵塞缝隙，洁净工艺气体可长期连续运行，维护周期长。

瑞士axetris 热式气体质量流量计

5、适配气体与流量量程

6、主流应用行业场景

1. 实验室分析仪器：气相色谱仪、质谱分析仪、热重热差分析仪，精准控制载气、反应气体流量；

2. 半导体真空工艺：薄膜溅射、等离子清洗、气相沉积设备，管控工艺反应气体供给；

3. 气体检测与泄漏设备：气密性检漏仪、气体浓度标定设备，标准气体配比计量；

4. 医疗设备配套：医用氧气、惰性气体供给系统，精准调控供气流量；

5. 汽车检测设备：尾气分析标定台，标准样气流量控制；

6. 科研高校实验室：各类气体反应实验、催化实验、混合气配比装置，微量气体精准调控。