描述：日本堀场horiba 热式气体质量流量控制器。采用压力非敏感型测量技术，内置多组高精度压力传感器，实时补偿压力波动影响，在压力突变工况下仍保持流量稳定。100ms 极速响应，控制精度高达 **±0.3% FS（25℃），重复性 ±0.1% FS，满足 3nm 及以下优良制程严苛要求。

日本堀场horiba 热式气体质量流量控制器

1、核心测量原理：压力非敏感型热式质量流量技术

• 气体进入后经精密分流，主路直通，小部分流经热式传感器（热毛细管）；

• 传感器检测气体流动产生的温差信号，精准换算为质量流量，不受温度、压力波动影响；

• 内置三组高精度压力传感器（P0/P1/P2），实时监测上下游压力，动态补偿流量计算，压力突变 70kPa/s 时流量偏差＜0.1% SP；

• 全金属流道无热源，超洁净低颗粒设计，适配半导体超高纯度气体应用。

2、核心性能：极速响应 + 超高精度，优良制程首要选择

• 响应速度：≤100ms（T98），比传统 MFC 快 3-5 倍，适配高速制程切换需求；

• 控制精度：±0.3%FS（25℃），设定点精度 ±1.0%（≥5% 流量），满足纳米级制程严苛标准；

• 重复精度：±0.1%FS，批次间流量一致性高，保障晶圆良率稳定；

• 控制范围：0.5-100%FS，支持宽量程精准控制，适配多工况灵活切换；

• 压力适应性：压力非敏感设计，可在 0.1-0.5MPa 压力范围稳定工作，抗上下游压力波动干扰。

3、结构与材质：超洁净 + 耐腐蚀，长寿命低维护

• 流道材质：SUS316L 不锈钢，内部电解抛光，粗糙度 Ra≤0.4μm，低颗粒、低吸附，适配超高纯度气体；

• 阀门组件：PFA 涂层喷嘴 + 金属隔膜阀，阀门关闭性优异，泄漏率＜1×10⁻⁹atm・cc/s，耐腐蚀（适配 Cl₂、HCl 等腐蚀性气体）；

• 密封设计：全金属密封，无橡胶 / 塑料接触介质，耐高温（-20~80℃）、抗老化，长期运行无泄漏；

• 紧凑型尺寸：标准 1/4"VCR 接口，安装间距兼容 D500MG，直接替换无需改线，适配狭小机柜空间。

4、智能功能：多气体适配 + 状态监控，运维高效

• 在线组态（仅 EtherCAT）：支持工具端直接切换气体类型与满量程，无需返厂校准，一台适配多工况，降低库存成本；

• MRMG 小流量功能：内置 Bin101-Bin105 小流量档位，最小可测 0.025SCCM，适配微量气体精密控制场景；

• 状态监控（SM）：实时记录流量 / 压力调零次数、阀门驱动次数、极值压力 / 温度、运行时长、累计流量等 20 + 项数据，支持故障预测与追溯；

• 通讯协议：标配EtherCAT（高速实时），可选模拟（0-5V/4-20mA）、DeviceNet、PROFIBUS，无缝对接主流工控系统；

• 参数锁定：内置密码保护，防止误操作或恶意篡改，保障制程参数安全。

日本堀场horiba 热式气体质量流量控制器

5、电气与接口：稳定可靠，适配工业环境

• 供电：24VDC±10%，功耗≤5W，工业级宽电压设计，抗电源波动；

• 信号输出：流量模拟输出、报警输出（故障 / 超温 / 超压）、数字通讯输出；

• 接口规格：气体接口1/4"VCR（标准），可选 1/4"NPT；电气接口 M12 圆形连接器，防水防尘；

• 防护等级：IP40，适配半导体洁净室、光伏车间等干燥洁净工业环境；

• 工作条件：介质温度 - 20~80℃，环境温度 5~45℃，湿度≤85% RH（无冷凝）。

6、行业应用场景

1. 半导体制造：3nm/5nm 优良制程、晶圆刻蚀 / 沉积 / 扩散、超高纯度气体（Ar/N₂/O₂）精密输送；

2. 光伏产业：电池片 PECVD、扩散炉、退火炉气体流量控制，提升光电转换效率；

3. 微电子与 LED：芯片制程、MEMS 工艺、外延片生长，微量 / 大流量气体精准配比；

4. 精密化工与实验室：高纯气体配比、催化反应、气体分析设备，科研与小批量生产；

5. 其他制程：真空镀膜、光纤制造、医疗器械无菌气体输送。

7、产品优势总结

• ✅ 极速响应：100ms 闭环控制，适配高速制程切换，提升产能；

• ✅ 超高精度：±0.3% FS 精度 +±0.1% FS 重复性，保障纳米级制程良率；

• ✅ 压力免疫：内置多压力传感器，动态补偿波动，流量稳定无漂移；

• ✅ 超洁净耐腐蚀：SUS316L+PFA 涂层，低颗粒、适配高纯 / 腐蚀性气体；

• ✅ 智能运维：在线组态 + 状态监控，免返厂校准，降低维护成本；

• ✅ 原装品质：日本 HORIBA STEC 原厂制造，半导体行业认证，长期稳定可靠。