描述：美国mks 金属密封热式流量计。专为半导体、高纯气体及低压 / 真空工艺设计。采用恒温差热式传感技术，直测气体质量流量，免温压补偿；全金属密封无弹性体，超高洁净度、耐烘烤；超低压力降（5–15 Torr），适配低压 /sensitive 工艺；流量范围5–100 sccm，精度 ±1% FS，满足微量气体精密测控需求，广泛应用于半导体 CVD、刻蚀、离子注入及 SDS 特种气体系统。

美国mks 金属密封热式流量计

1. 品牌与型号

• 品牌：MKS Instruments（美国，半导体 / 真空领域头部品牌）

• 型号：M330B Series（模拟式热式质量流量控制器）

• 产地：美国

• 核心定位：低压降、金属密封、高纯气体 / 半导体专用微量流量控制器

2. 测量原理与介质

• 原理：恒温差热式质量传感（CTA），内置 MKS 自研高精度热传感器，直测气体质量流量，不受温度、压力波动影响，免温压补偿。

• 介质：高纯氮气（N₂）、氧气（O₂）、氩气（Ar）、NF₃等洁净非腐蚀性气体，适配半导体特种气体。

3. 核心技术参数

• 流量范围：5–100 sccm（N₂标定，标准立方厘米 / 分钟）

• 精度：±1% FS（全量程动态控制范围，N₂标定）

• 重复性：±0.2% FS

• 压力降：≈5 Torr（5 sccm）；≈15 Torr（100 sccm），超低压力损失

• 工作压力：≤1200 Torr（≈1.6 bar）

• 介质温度：0–50 ℃

• 响应时间：≤1 秒，快速稳定控制

• 密封材质：全金属密封（无橡胶 / 弹性体），超高洁净、无析出、耐烘烤

• 阀体材质：316L 不锈钢，** 电抛光（EP）** 处理，适配半导体高纯环境

• 电气接口：标准 DB9（模拟信号：0–5V 或 4–20mA）

• 供电：±15 VDC（工业标准）

• 防护等级：IP40；符合 SEMI S2、RoHS 认证

美国mks 金属密封热式流量计

4. 结构设计优势

• 超低压力降：专为低压、真空、微量流量设计，几乎不损失工艺压力，气体利用率高达 90%。

• 全金属密封：无弹性体部件，避免橡胶老化与气体析出，耐高温烘烤、超高洁净度，半导体 / 光刻 / 外延工艺首要选择。

• 紧凑型设计：标准 3 英寸 MFC 安装尺寸，兼容主流半导体设备安装位，易于集成与替换。

• 长寿命免维护：无运动部件，金属密封无老化，支持24/7 连续运行，降低运维成本。

5. 典型应用场景

• 半导体制造：CVD、PVD、刻蚀、离子注入、外延、扩散工艺的微量高纯气体精密配比。

• SDS 特种气体系统：ATMI/SDS 安全输送系统指定 MFC，适配低压特种气体。

• 真空 / 低压工艺：实验室、科研、精密制程中极低压力损失的气体流量测控。

• 高纯气体配送：光伏、LED、医药、特种材料行业微量气体精确供给。