描述：日本TOKYO KEISO 抗气泡高温腐蚀药液流量计
UCUF-04MT 是 TOKYO KEISO 东京计装推出的 4mm 通径高温洁净时差式超声波流量探头，必须搭配专用 SFC-010T 导轨信号转换器成套使用，核心面向半导体、光伏、锂电行业高温微量腐蚀药液、高温超纯水流量监测场景。

核心参数

1. 通径规格：4mm

2. 测量原理：时差式超声波检测，内置 DSP 数字波形处理

3. 流量量程：0.1～2L/min

4. 测量精度：流速达标时 ±1% 读数

5. 介质温度：10～180℃

6. 介质粘度：最高 40mm²/s

7. 工作耐压：≤0.5MPa（介质温度＜120℃）

8. 接液材质：一体成型特种 PFA，无 O 型圈、无金属接触

9. 探头防护等级：IP65

10. 配套转换器：SFC-010T，DIN 导轨安装

11. 信号输出：4～20mA 模拟量、脉冲累计、两路流量上下限报警

12. 采样响应速度：10ms

13. 管路接口：标准 PFA 软管接驳端头

14. 同系列区分

    UCUF-04MT：高温款，耐温 180℃，抛光液、高温腐蚀药剂通用；

    UCUF-04M：常温款，最高 80℃，仅常温纯水、低腐蚀药液；

    UCUF-06MT：6mm 大口径高温款，最大流量 8L/min。

1. 高纯 PFA 无死腔结构，整条流道一体模铸，无密封垫片、无活动阀芯，不会析出金属离子污染晶圆药液，满足半导体超高洁净制程标准。

2. 耐高温宽温域设计，最高 180℃介质耐受，可适配高温蚀刻药液、高温超纯水、热抛光浆料，常温、高温工况一支探头通用。

3. DSP 气泡抑制算法，针对洁净管路微小气泡优化滤波，对比普通流量计流量数值稳定无跳变，避免产线流量误报警。

4. 兼容高粘度流体，最高支持 40mm²/s 浆料测量，CMP 抛光膏等高粘稠介质可稳定计量，适配半导体抛光核心工序。

5. 分体式小巧结构，探头体积轻便，可内嵌设备狭小腔体，无需预留大型安装空间，老旧设备改造施工简单。

6. 无机械磨损部件，不存在转子、轴承等易损零件，不会因颗粒摩擦产生杂质污染药液，长期连续运行维护周期长。

7. 配套导轨型超薄转换器，占用控制柜空间小，多路信号同步输出，直连 PLC 实现流量闭环调控、断流 / 超流量停机保护。

8. 耐腐蚀适配性强，强酸、强碱、有机溶剂、高温纯水均可测量，一条产线多种药液可统一采用同规格监测设备。

适用场景

1. 半导体行业：晶圆 CMP 抛光高温抛光浆料流量监控；蚀刻、清洗设备高温酸碱药液微量计量；高温超纯水供给管路实时监测。

2. 光伏制造：电池片清洗高温高纯水路流量采集，高温制绒药剂管路流量稳定管控。

3. 锂电池产线：耐腐蚀微量电解液、清洗药液管路流量在线监测。

4. 精密清洗设备：工业精密零件高温循环清洗水流量追踪。

5. 化工小型反应设备：实验室小型反应釜高粘度高温化学药液流量检测。

6. 自动化洁净设备：设备内部狭小管路嵌入式流量采集，搭建全自动流量闭环控制系统。

7. 设备配套厂商：半导体、光伏成套设备标配高洁净高温微小流量监测单元。