描述：日本TOKYO KEISO 一体式小流量超声波流量计
本设备是日本东京计装推出 UCM-04A、UCM-06A 变送器一体式小流量超声波流量计，专为半导体、制药高纯洁净流体设计，传感探头与信号转换器整合为单台紧凑机身，节省设备内部安装空间。

基础核心参数

1. 测量原理：超声波时差式流量检测，无内部活动部件

2. 型号管径区分

• UCM-04A：细规格 PFA 管路，适配微量小流量工况

• UCM-06A：粗规格 PFA 管路，适配中流量输送工况

3. 接液材质：一体成型 PFA，适配各类弱酸弱碱腐蚀药液、超纯水

4. 适配流体：不含气泡液体，低粘度洁净化工、制药介质

5. 流体工况温度、压力适配半导体常规工艺区间

6. 显示面板：7 段数码 LED + 百分比光柱双路同步显示

7. 输出配置：4-20mA 模拟变送、RS485 数字通讯、单路上下限报警接点

8. 零点校正：内置霍尔磁调机构，无需拆机现场归零校准

9. 供电规格：工业标准 DC24V 直流供电

10. 机身结构：一体化紧凑型机身，设备嵌入式面板安装

11. 管路接口：标准 PFA 管端连接，匹配半导体通用软管接头

12. 合规标准：符合 RoHS 环保规范，适配洁净车间制程管控

日本TOKYO KEISO 一体式小流量超声波流量计

核心功能特点

1. 传感与转换器一体化集成，单台设备完成采集、运算、输出，简化现场管路与布线施工

2. PFA 全接液全面洁净腔体，无滞留凹槽、无叶轮浮子，杜绝高纯药液二次污染

3. 两款管径流量规格可选，UCM-04A 适配微量药剂加注，UCM-06A 适配批量清洗水路

4. LED 数码 + 光柱双重显示，昏暗设备机柜内无需照明即可直观读取流量占比

5. 多路信号同步输出，模拟信号对接传统工控，RS485 数字通讯上传上位机集中管控

6. 磁调零点校正设计，外部磁体一键归零，无需拆解管路即可完成现场校准

7. 无运动超声波检测结构，无磨损件，长期连续运行无流量零点漂移，维护周期长

8. 标准 PFA 软管接口，半导体产线通用管路配件直接适配，无需定制转接接头

9. 单路 NPN 报警接点，可设定高低流量阈值，断流、流量异常联动设备停机防护

适用场景

1. 半导体晶圆清洗设备，超纯水、研磨浆料微量流量实时监测，稳定清洗工艺

2. 蚀刻、显影药液输送管路，腐蚀性化学药液高精度流量管控

3. 制药实验室药液加注系统，高纯试剂微量配比定量测量

4. 光伏电池片清洗制程，洁净纯水循环管路流量连续监测

5. 第三方半导体设备检测机构，洁净流体标准化流量检测，出具合规运行记录

6. 高校微电子、化工实验室，高纯液体输送教学配套小流量计量设备

7. 小型纯水制造设备，循环水路流量常态化监控，保障水质供给稳定

8. 精密零件超声清洗机，清洗液供给流量管控，统一工件清洗效果