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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATIONTeledyne-HI 单通道流量压力显示控制器
整机型号:THCD-101 单通道流体显示控制器(Teledyne-Hastings)
采集精度:±(0.02% 读数 + 0.01% 满量程)
模数转换:16 位高精度 AD 采集
内置供电:稳定 ±15VDC、+24VDC 输出,驱动 MFC / 真空规
显示配置:OLED 五位数显,多单位一键切换
报警输出:两路独立可编程继电器(30VDC/2A 触点容量)
通讯接口:USB-C、以太网(内置网页服务)、0–10V 模拟输出
设定输入:前面板手动设定 0–10V 控制点信号
工作温区:-10℃~50℃全温区温度补偿
安装方式:台式摆放、标准机架嵌入式安装
适配探头:质量流量控制器 MFC、质量流量计、电容真空规、线性压力变送器
运行环境:洁净实验室、半导体镀膜真空机房,低粉尘无强腐蚀溶剂工况
适配功能:薄膜沉积气体流量精准管控、真空腔体压力实时监测、半导体工艺气路闭环控制、真空检漏数据记录、气体配比制程参数监控、科研实验流体信号采集、自动化真空设备联动控制
供电显示控制三合一,无需额外搭配电源、二次数显仪表,简化机柜布线
高分辨率采集模块,微小流量、真空压力波动均可精准捕捉,读数重复性优异
以太网内置网页服务器,无需安装专用软件,浏览器远程读取、修改工艺参数
双路独立继电器告警,可联动声光报警器、设备停机回路,超差自动切断气路
宽温全程温度补偿,高低温真空机房测量数值无漂移,长期连续运行稳定
五位数显 OLED 大屏,昏暗机柜内部、洁净室弱光环境读数清晰直观
双通讯通道并行使用,电脑批量存数据同时 PLC 完成产线自动化联动
台式 / 机架两用结构,实验室打样、量产真空机柜均可快速装配改造
自带峰值谷值存储、一键清零校准,现场快速校正基线,降低人工操作误差
原厂配套上位机软件,批量导出时序报表,数据具备完整溯源资质
半导体薄膜沉积车间,PVD/CVD 腔体工艺气体 MFC 流量闭环监控
光伏镀膜真空工位,腔体内真空度、载气流量全程实时记录管控
科研材料实验室,等离子沉积、溅射实验气体配比标准化测控采集
真空检漏产线,腔体压力梯度数据记录,定位漏点异常工况
特种气体配比厂区,多路工艺气单通道独立精准流量调节监测
第三方真空工艺配套产线,标准化流体测控设备,完整留存可溯源运行记录
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