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2026-06-22
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2026-06-03
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION韩国SUNJE 真空紫外静电消除装置
完整型号：SVH-M24（标准中小型法兰款，适配常规真空腔体）
电离光源：真空紫外波段光源，搭配氟化镁透光窗口
适用环境：减压真空腔体、氮气氩气惰性保护气氛
散热方式：内置静音风冷散热模组
工作温湿度：常规车间常温区间，湿度维持非凝露状态
安装结构：前端标准法兰密封直装，贴合真空腔体接口
控制方式：外部信号瞬时启停，可联动自动化产线时序
监测功能：光源故障、寿命到期实时提示反馈
机身材质：防锈合金密封壳体，内部组件耐惰性气体腐蚀
运行环境：半导体镀膜车间、光学薄膜实验室、晶圆处理洁净工况
适配配套：真空密封垫圈、光源替换组件、自动化联动信号线、腔体转接法兰
适配功能：真空蒸镀腔体静电中和、薄膜沉积制程静电管控、超薄晶圆表面静电消除、光学镜片镀膜防吸附、惰性气氛精密器件处理、真空工艺新品配方对照、第三方真空制程合规配套、高校真空薄膜课题对照实验
真空紫外电离核心原理，无电极电晕放电，全程无臭氧、无粉尘生成，不会污染腔体内部精密工件，适配超高洁净制程标准
兼容真空与惰性气体两类工况，镀膜、晶圆、光学元件等密闭腔体工艺均可直接装配使用，拓展设备适用范围
法兰直装一体式结构，小型紧凑机身占用腔体外部空间少，老旧真空设备无需大幅改造即可加装部署
低发热风冷散热设计，光源工作温升幅度小，腔体内部工艺温度不会受设备干扰，保障薄膜结晶、镀膜均匀度稳定
瞬时通断可控启停，跟随自动化产线节拍同步开启关闭，减少光源无效损耗，延长整套光源使用周期
实时状态监测反馈，光源故障、耗材临近更换期限主动提示，避免制程中途除电失效产生批量不良品
外接信号联动接口，可对接产线主控系统同步启停，搭建全自动无人值守真空处理产线
密封耐腐蚀整机结构，腔体逸出微量惰性气体不会侵蚀内部光学与电气组件，整机长效稳定运行
完整制程数据自动归档，光源工作时长、腔体运行工况统一留存，便于复盘工艺静电管控效果
故障自查程序，运行异常直观反馈故障类别，缩短真空产线停机检修时长
半导体真空镀膜车间，蒸镀腔体内部晶圆静电中和，防止微粒吸附造成表面瑕疵
光学镜片镀膜产线，密闭真空腔体内消除镜片表层静电，规避镀膜层厚薄不均缺陷
超薄薄膜沉积研发工位，惰性气氛腔体管控基材静电，提升薄膜附着均匀性与成品良率
精密器件真空处理厂区，氮气保护腔体内部元器件静电消除，避免静电击穿精密电路
真空工艺新品试产实验室，对比不同静电管控方案对成品外观、性能的影响
第三方真空制程配套机构，标准化洁净除电设备，完整留存可溯源腔体处理批次记录
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