描述：日本理研RIKEN KEIKI 泵吸式复合气体检测仪
本设备为日本 RIKEN KEIKI 理研专为半导体、光伏面板产线打造的集成式四通道泵吸气体检测整机，单台机身集成四路独立检测通道，可同步搭载四种不同原理传感器，同时监测车间多种工艺特种气体，替代传统四台单通道探测器，大幅缩减管路、布线与安装空间。

日本理研RIKEN KEIKI 泵吸式复合气体检测仪

基础核心参数

1. 检测方式：内置泵吸式主动采样，标准采样流量 0.6L/min

2. 通道配置：单台机身最大四路独立检测通道，每通道独立传感、独立报警输出

3. 适配传感原理：定电位电解式、陶瓷式、热线半导体式、催化燃烧式

4. 可测工艺气体：O₂、可燃 CH₄、SiH₄、PH₃、HCl、NH₃、Cl₂、SO₂、NO、HF、H₂、D₂等二十余种半导体特气

5. 报警机制：每通道两级浓度报警，支持自锁 / 自动复位两种模式，无源触点开关输出

6. 通讯供电细分型号

• GD-84D / GD-84D-EC：仅 4-20mA 模拟信号，DC24V 直流供电

• GD-84D-EA / GD-84D-EA-EC：4-20mA + 以太网 PoE 双输出，DC24V/PoE 双供电

• GD-84D-ET / GD-84D-ET-EC：仅以太网 PoE 数字通讯，PoE 独立供电后缀 EC 代表仅适配电解式传感器，无后缀可兼容全类型传感元件理研計器株...

7. 通讯规格：以太网 10/100BASE-TX，PoE + 供电；模拟两线制 4-20mA，负载≤300Ω

8. 管路接口：Rc1/4 标准螺纹，适配外径 6mm 特气管路

9. 自诊断项目：传感器劣化、采样泵断线、管路流量不足、机身过热、供电故障

10. 显示面板：全点阵白色背光液晶屏，同步显示四路浓度、流量、通讯、报警状态

11. 整机尺寸 & 重量

• 4-20mA/EA 款：150×190×146mm，约 1.9kg

• ET 纯网口款：150×183×140mm，约 1.4kg

12. 工作温湿度：-10℃～+40℃，20～90% RH 无结露

13. 安全规格：非防爆机身，符合 CE EMC、RoHS 环保指令

14. 标配组件：GD-84D 主机、Rc1/4 管路转接头、DC24V 供电端子套件、出厂四路传感精度溯源校准证书、双语半导体特气运维说明书、泵体管路专用无尘吹扫清洁耗材

日本理研RIKEN KEIKI 泵吸式复合气体检测仪

核心功能特点

1. 四通道一体化集成设计，单台替代四台单通道探测器，取样管路、供电线缆、通讯布线施工成本降至原 1/4，大幅节省气瓶柜内部安装空间。

2. 内置恒流采样泵稳定 0.6L/min 流量，密闭气瓶、负压尾气管路均可稳定抽取气体，不受现场气压波动影响，不会出现取样不足漏检问题。

3. 多类型传感器通用兼容，同一机身可自由搭配氧气、可燃、剧毒腐蚀类特气模组，可根据产线气体品类灵活更换通道传感元件。

4. 双级独立报警触点，每路气体高低浓度分开输出，可分别联动车间声光报警器、排风风机、设备紧急停机回路，分级处置泄漏风险。

5. 完整全维度自诊断系统，自动识别传感器寿命到期、管路堵塞、泵体停转、供电异常，故障黄灯弹窗提示，提前预警避免监测失效。

6. PoE 以太网供电通讯二合一，单根网线同时供电 + 数据传输，无需单独铺设电源线，简化车间机柜布线布局，网页端远程查看全部监测历史。

7. 本地存储完整事件日志，包含浓度曲线、报警触发记录、传感器校准记录、故障记录，断电后数据长期保存不丢失。

8. 白色背光点阵大屏，无尘车间昏暗柜体内部读数清晰，四路数据分区独立显示，多路泄漏可快速区分故障通道。

9. 壁挂轻量化壳体设计，可直接固定气瓶柜内壁、通风箱体侧边，无需额外大型安装支架，改造适配简易。

10. 半导体安全生产完整台账归档，四路实时浓度、报警时序、校准周期统一记录，长期管控特气微量泄漏、管路老化车间安全隐患。

11. 管路积尘、泵体衰减状态可通过自诊断快速排查，配套吹扫清洁耗材维护后即可恢复标准采样精度，无需整机返厂检修。

适用场景

1. 半导体晶圆工厂：各类特种工艺气瓶柜、刻蚀 / 沉积设备尾气多路同步泄漏在线监测。

2. 光伏面板制造车间：硅烷、磷烷、氨气等掺杂特气管路持续安全检漏。

3. 电子洁净实验室：混合特种气体多路配比实验柜微量泄漏实时监控。

4. 特气设备集成商：标准气瓶配套集成式多路监测系统核心探测主机。

5. 半导体第三方安全检测机构、工厂特气安全体系验收、多路气体监测标准比对。