描述：日本tokyokeiso 分流式热式气体质量流量计
本设备为日本东京计装 tokyokeiso EP-TF-5300 系列旁路分流型耐压防爆热式气体质量流量计，专为各类高压、易燃易爆工艺气体在线计量打造，依托分流热传感测量架构，可直接输出气体质量流量数值，测量结果不受管路温度、压力波动影响，适配化工、半导体防爆高危生产工况。

日本tokyokeiso 分流式热式气体质量流量计

基础核心参数

1. 测量原理：旁路分流取样，热传感元件检测气体分子带走热量，热量损耗与气体质量流速线性对应，直接换算标准状态质量流量，消除温度、压力对体积流量的干扰

2. 完整型号划分

• EP-TF-5310：微小流量段 5mL/min~20L/min (nor)

• EP-TF-5320：小流量段 20~80L/min (nor)

• EP-TF-5330：中流量段 80~300L/min (nor)

• EP-TF-5340：大流量段 300~500L/min (nor)

• H-EP-TF-5300：高压衍生款，适配超高压力管路工况

3. 标准耐压：基础款最高 4.9MPa；高压 H 系列最高 14.7MPa

4. 测量精度：标准工况 ±1.0% FS

5. 重复性能：±0.2% FS，长期运行数值离散度低

6. 响应速度：流量突变 90% 稳定响应≤3 秒

7. 输出信号：DC0~5V 线性模拟信号，对应 0~100% 满量程

8. 供电规格：DC+15V/DC-15V 双路直流供电，低功耗运行

9. 防爆等级：TIIS d3aG4 耐压防爆认证，适配危化防爆车间

10. 阀体材质：流体接触部位 SUS316 不锈钢，密封件氟橡胶 / CR 橡胶可选

11. 管路接口：支持 Rc 螺纹、VCR、Swagelok 卡套、多规格法兰多种连接形式

12. 介质适用：干燥无粉尘无液态水汽的氮气、氩气、氢气、氧气、各类工艺混合气体

13. 使用环境：介质与环境温度 5~50℃，湿度 20~80% RH 无凝露防爆厂区通用

14. 标配组件：EP-TF-5300 防爆流量传感主机、标准管路接头套件、SC-EP3 专用长距离通讯线缆、DC 直流供电端子套件、出厂流量精度溯源校准标准氮气气源、双语化工防爆工艺运维说明书、分流传感腔体专用无尘清洁耗材

日本tokyokeiso 分流式热式气体质量流量计

核心功能特点

1. 旁路分流式热传感架构，无需整路气体全部流经传感芯体，缩小设备体积同时适配大流量高压管路，高压工况不易出现传感过载损坏。

2. 直接测量质量流量，输出数值不受管路温度、压力波动干扰，无需配套温压补偿模块，简化整套计量配套设备投入。

3. 正规 TIIS 耐压防爆认证，整机结构满足危险区域安装规范，可燃、易燃易爆气体产线可直接在线使用，规避防爆改造额外成本。

4. SUS316 全流体接触阀体搭配氟橡胶密封，适配高纯惰性气体、弱腐蚀工艺气体，长时间使用无金属析出污染介质。

5. 宽量程分段覆盖，微小微量至大流量管路统一系列选型，同厂区多流量工位无需更换不同品牌设备，运维配件通用。

6. 长距离稳定信号传输，专用通讯线缆最远可铺设 100 米，主控操作台与现场防爆管路远距离分离布置，保障人员操作安全。

7. 多类型标准管路接头可选，新旧产线改造无需定制转接管件，快速完成管路对接安装。

8. 模块化分体损耗件，传感芯体、分流管路、密封垫圈单独拆装更换，仅替换磨损耗材即可恢复标准计量精度，维保工时短。

9. 完整防爆产线运维台账配套归档，瞬时流量、累计气量、介质批次时序统一记录，长期管控流量计量偏差、传感老化、防爆密封失效生产隐患。

10. 分流管路积尘、流量零点漂移易排查，配套清洁耗材冲洗传感腔体、标准氮气气源核查即可恢复标准计量精度，年度计量标定频次低。

适用场景

1. 精细化工防爆车间：氢气、乙炔、可燃混合反应气体高压管路在线质量流量计量，满足危化品生产安全管控标准。

2. 半导体晶圆制造产线：氮气、氩气、特种工艺高纯载气稳定流量监测，保障薄膜沉积、刻蚀工艺气体配比精准。

3. 实验室高压气体供气系统：各类标准实验气源定量监测，用于催化、材料科研气体配比实验。

4. 特种气体充装车间：高纯气体分装管路流量计量，精准管控充装气量，减少原料损耗。