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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本mess-tek 小型嵌入式压电驱动电源设备
工作原理:0~5V 模拟控制信号经 30 倍线性高压放大输出 0~150V 驱动电压,利用逆压电效应驱动 PZT 元件产生纳米位移;设备存储输入控制电压、输出高压、负载电流完整时序数据,导出报表用于物镜调焦、晶圆微调整套定位工艺复盘。
信号输入:0~+5V 单端模拟信号,输入阻抗 100kΩ
放大增益:固定 30 倍,误差≤±1%
输出驱动电压:0~+150V
输出额定电流:±5mA 峰值
频响特性:空载 - 3dB 带宽≥1kHz
输出噪声:≤1mVrms(1μF 压电负载)
非线性度:≤±0.5% FS
温度漂移:典型 ±5mV/℃
供电规格:DC11~14V 标准直流,额定 DC12V
额定输出功耗:250mA
空载待机电流:50mA
瞬时冲击电流:4A(100μs)
机身尺寸:75 宽 ×20 高 ×50 深 mm
整机重量:约 70g
接线端子:8 芯螺钉端子,适配 AWG28~16 导线
防护与接地:输入输出共地、整机外壳绝缘隔离;过流、短路自动限流保护
使用环境:0~40℃,湿度≤85% RH,常压无腐蚀性气体,设备内置、光学实验室工位
超薄小型模块化结构,厚度仅 20mm,可嵌入自动化设备、光学显微镜机箱内部,不占用外部台面空间,适配整机小型化设计。
标准 0~5V 工业控制输入,可直接对接 PLC、运动控制卡、信号发生器,无需额外信号转换,系统集成简便。
固定高精度 30 倍线性增益,放大误差控制在 1% 以内,位移控制线性度优异,纳米定位重复精度稳定。
超低噪声输出电路,微弱压电陶瓷负载无电压抖动,物镜对焦、光学扫描无图像偏移、抖动缺陷。
宽频 1kHz 响应速度,高速往复微小定位、快速对焦场景下无滞后,适配高速光学检测产线。
整机外壳电气隔离设计,安装金属机箱不会引入地环路干扰,多模块同步使用互不串扰。
低温度漂移电路,实验室、恒温车间长时间连续工作,输出电压漂移极小,定位精度长期稳定。
8 芯通用螺钉接线端子,拆装接线便捷,设备整机装配、维修更换工时短。
完整压电定位台账留存,驱动电压、负载电流原始运行数据可回溯,半导体、光学设备整机出厂验收可直接调取精密位移管控记录。
光学仪器行业:显微镜物镜压电对焦模组、光谱仪光路微调、激光光路精准校正,纳米级对焦定位。
半导体组装工位:晶圆载台微量偏移微调、探针台 Z 轴纳米进给、芯片检测微小位移补偿。
精密检测设备:光学扫描台、干涉仪位移驱动、薄膜厚度检测压电微调机构。
自动化微型装配:微型元件夹持微量补偿、精密点胶阀压电微量进给控制。
新材料实验室:压电陶瓷位移特性测试、纳米定位试样工艺对比验证。
高校光学、机电精密测控实训实验室,压电纳米位移驱动、光路微调教学配套模块。
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