描述：日本堀场HORIBA 微量半导体药液在线监测仪
本设备为日本 HORIBA 堀场 HF‑700 微量药液在线监测仪，采用离子电极检测原理，搭配内置自动中和预处理单元，用于硫酸‑双氧水混合药液体系当中微量组分浓度连续在线监测。配置触控液晶显示屏，支持多种测量模式，自带自动校准、双中和试剂槽自动切换，具备丰富信号输出接口，便于对接工厂自动化控制系统，多用于半导体刻蚀后残渣清除湿法工序的药液工艺管控作业

基础核心参数

1. 工作原理：离子电极法，配合自动中和预处理单元，将样品调节至适宜 pH 环境完成离子检测；检测记录归档留存，用于工艺复盘。

2. 型号：HF‑700 微量药液在线监测仪

3. 测试对象：硫酸、双氧水混合体系当中微量组分

4. 测量量程：0‑100、200、500、1000mg/L 多档量程可选

5. 重复性：满量程 ±2%；10min 稳定性：满量程 ±2%

6. 样品条件：样品流量 20‑200mL/min，压力≤0.02MPa，样品温度 20‑40℃

7. 操作界面：图形 LCD 触控显示屏

8. 测量模式：常规模式、节能省试剂模式；支持连续测量、间歇测量

9. 信号接口：4‑20mA 模拟输出、继电器接点输出、RS‑232C 通讯；支持外部触发自动校准

10. 使用环境：环境温度 10‑35℃，湿度 20‑85% RH，无冷凝，半导体湿法车间现场机柜安装使用

日本堀场HORIBA 微量半导体药液在线监测仪

核心功能特点

1. 集成自动中和预处理单元，强酸性样品自动调节 pH，保障离子电极稳定检测，适配硫酸‑双氧水混合药液工况，实现持续在线监测。

2. 两种核心测量模式，常规模式响应速度优先；节能模式降低试剂消耗，可按照现场工艺需求灵活选用，同时支持连续、间歇两种测量方式。

3. 双中和试剂槽自动切换，降低药剂更换频次，减少现场维护工作量，降低长期运行成本。

4. 支持自动校准，可本机触摸屏操作启动，也可接收外部接点信号远程触发，便于对接工厂自动化流程，保障长期测量稳定性。

5. 触控图形屏幕，参数查看、状态确认、设置操作直观便捷，便于现场运维人员操作。

6. 多类型信号输出，模拟量、继电器报警接点、串口通讯，可对接 PLC、上位控制系统，实现数据采集与工艺联锁。

7. 整机结构紧凑，适配机柜现场安装，直接接入药液旁路，无需人工取样，实时反馈药液浓度变化。

8. 针对半导体湿法清洗、残渣去除工艺开发，适配制程药液组分，用于监控工艺药液状态。

9. 报警逻辑，异常工况输出接点信号，便于现场及时发现设备与药液异常。

   10. 完整工艺台账留存，记录可回溯，工艺调试、药液管控、周期性设备校验项目可直接调取管控记录。

适用场景