描述：日本SONIC 半导体制程微小流量管控流量计
本产品为日本 SONIC 索尼克超声波传播时间差式微小液体流量检测设备，分为一体式与传感器分离两种结构，传感部件不直接接触管内流体，不会对介质带来污染，管路内部不存在阻挡结构，不会产生压力损耗。设备响应速度快，适合微量流体的实时监测，适配各类纯水、水溶液以及部分化学药液。

产品型号：μLF‑300S/μLF‑300
厂商性质：代理商
更新时间：2026-08-07
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本SONIC 半导体制程微小流量管控流量计

基础核心参数

型号：μLF‑300S（分离型）、μLF‑300（一体型）
设备类型：超声波传播时间差式微小液体流量计
品牌：SONIC 索尼克（日本）
测量原理：超声波传播时间差法
适配管路：1/8 英寸、1/4 英寸树脂管路
被测流体：纯水、水溶液、部分化学药液、低粘度流体，特殊介质需要提前确认
流体温度区间：10‑80℃，60℃以上工况需提前评估
流体工作压力：0.5MPa 以下
流体运动粘度：100mm²/s 以内
10. 响应速度：10ms
11. 通讯接口：RS422 数字通讯
12. 供电规格：μLF‑300 DC5V；μLF‑300S DC24V
13. 结构区分：μLF‑300 一体式；μLF‑300S 变换器搭配外置传感头，传感器与主机线缆分离
14. 防护等级：室内使用，本体达到 IP65 相应防护水准
15. 标配配件：流量计主机、安装配件、操作手册；不同规格传感头另行选配
16. 工作环境：室内环境，避开强电磁干扰，无凝露

日本SONIC 半导体制程微小流量管控流量计

核心功能特点

1. 非接触外夹式检测，探头贴在管路外壁，不和流体直接接触，不会污染高纯度药液，无介质腐蚀探头的问题。2. 管路内部无阻挡件，实现零压力损失，不会干扰流体输送状态，适合微量、低压力回路使用。3. 响应速度快，可以捕捉流体瞬间流量变化，适合点胶、冲洗、微量给药这类动态变化的工艺回路。4. 分为一体式与分体式，分体型号传感头体积小巧，可以安置在狭小设备内部，变换器可安装在方便调试的位置。5. 直接夹持在现有树脂管路外侧，不用切断管路，改造安装简单，减少现场改管工作量。6. 适配纯水、IPA、各类工艺药液，半导体、医药行业高洁净流体场景可以使用。7. 数字信号输出，可实时输出瞬时流量、累计流量，对接 PLC、上位机，实现工艺闭环监控。8. 整机体积小巧，适配设备内置集成，不占用过多设备空间。9. 管路无磨损部件，不存在叶轮等转动零件，没有颗粒卡滞带来的故障风险，后期维护负担低。10. 同一变换器可更换不同规格传感头，适配不同管径，拓展设备适配范围。11. 兼顾实验室研发测试与自动化产线在线监控，老旧微小流量仪表替换同样适用。

适用场景

1. 半导体行业，清洗、蚀刻、显影工序，纯水、异丙醇、工艺药液微小流量在线监测。2. 医药行业，配液系统、微量给药回路，药液流量管控与累计计量。3. 化工实验室，试剂输送、微量加料工艺，流体流量实时采集。4. 精密点胶设备，胶水、溶剂供给管路流量状态监控。5. 新材料研发设备，循环回路微量液体流量过程记录。6. 原有微小液体流量计老化故障，现场备件替换。