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日本长野NAGANO KEIKI 高纯流体压力传感器

描述:日本长野NAGANO KEIKI 高纯流体压力传感器
本产品为日本长野计器面向半导体行业开发的压力传感设备,针对高纯度药剂、特种工艺流体开展压力检测,接液部位采用适配半导体工艺的特殊材质,减少介质析出污染风险,满足洁净生产环境使用要求。设备体积小巧,便于直接集成在工艺管路、设备腔体当中,将压力状态转化为标准信号向外输出,可供工控系统读取监测。

  • 产品型号:ZT11
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-08-07
  • 访问量:18
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本长野NAGANO KEIKI 高纯流体压力传感器

基础核心参数

  1. 型号:ZT11

  2. 设备类型:半导体产业用压力传感器

  3. 品牌:長野計器 NAGANO KEIKI(日本)

  4. 作业对象:半导体产线高纯流体、各类工艺药液压力检测

  5. 接液材质:适配半导体工艺耐腐蚀材质,抑制杂质析出

  6. 输出形式:标准信号输出,对接工控采集系统

  7. 安装形式:管路螺纹锁紧安装,适配工艺管路集成

  8. 工作环境:洁净车间,低粉尘,无凝露

    9. 可选配置:多种压力量程规格,各类接头配件另行选配

    10. 标配配件:传感器本体、操作手册;安装接头、连接线缆另行选配

日本长野NAGANO KEIKI 高纯流体压力传感器

核心功能特点

1. 专为半导体工艺环境设计,接液材质管控严格,减少材料析出,保护工件不受污染,适配高洁净制程。
2. 本体尺寸小巧,占用空间小,能够直接安装在狭小设备腔体、工艺管路之上,适合设备内部嵌入集成。
3. 耐化学腐蚀性能优良,可对应多种工艺药液,适用流体种类宽泛。
4. 输出标准化信号,可直接接入各类工控仪表、采集系统,实现压力远程监控与异常告警。
5. 安装方式简单,螺纹接头直接锁附管路,装配作业便捷。
6. 多款量程规格可选,能够匹配不同工艺回路的压力管控需求。
7. 结构牢固,抗环境振动干扰,适配产线设备持续长时间运行。
8. 传感部件防护到位,前置过滤可减少颗粒直接冲击膜片,延长传感器使用寿命。
9. 可单独更换传感配件,出现损耗不必整套更换设备,降低后期维护成本。
10. 既用于新建半导体工艺设备配套,也可作为老旧同类压力传感设备备件替换使用。

适用场景

1. 半导体行业,工艺药液、高纯气体管路内部压力实时监测管控。
2. 精密清洗设备,流体供给回路压力检测,保障工艺条件统一稳定。
3. 分析检测设备,内部流体腔体压力状态采集。
4. 化工工艺工位,腐蚀性介质管路压力监控。
5. 自动化制程设备,腔内压力监测,输出异常报警信号。
6. 原有压力传感设备老化损坏,现场备件替换。
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