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日本lintec 高温工况气体流量控制设备

描述：日本lintec 高温工况气体流量控制设备
本产品为日本琳泰克 MC‑3000L‑TC 系列高温质量流量控制器，专门针对带温度的工艺气体工况开发，在流道整体处于高温条件下完成气体质量流量检测与闭环调节。设备集成耐高温流道阀体、热式流量传感以及信号处理电路，接收外部设定信号，对高温工艺气体做流量管控，同时向外反馈实时流量数值，适配需要对气路整体加温、抑制介质冷凝的制程场景。

  • 产品型号：MC‑3000L‑TC 系列
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-08-08
  • 访问量：12
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本lintec 高温工况气体流量控制设备

基础核心参数

  1. 型号：MC‑3000L‑TC 系列

  2. 设备类型：高温型质量流量控制器

  3. 品牌：LINTEC リンテック（日本琳泰克）

  4. 作业对象：各类高温工艺气体的质量流量闭环控制

  5. 检测方式：热式质量流量传感，耐高温阀体闭环调节

  6. 输出形式：模拟信号、数字通讯输出，对接工控采集控制系统

  7. 安装形式：螺纹接头锁紧，直接接入高温工艺气体管路

  8. 工作环境：高温气路工况，低粉尘，规避超温冲击

  9. 可选配置：不同流量量程本体、前置过滤组件、连接线缆另行选配

  10. 标配配件：质量流量控制器本体、操作手册；管路接头、线缆另行选配

日本lintec 高温工况气体流量控制设备

核心功能特点

  1. 整机适配高温流道工况，可在介质带温条件下稳定实现流量管控

  2. 热式质量流量检测，不受压力、温度波动干扰，流量输出一致性好

  3. 阀体与流道做耐高温处理，减少高温介质带来的部件老化影响

  4. 一体化集成传感与控制阀，简化高温气路的现场配套结构

  5. 支持模拟、数字多种通讯方式，方便对接上位工控系统

  6. 多量程规格可选，覆盖不同工艺供气流量需求

  7. 具备状态自检功能，可输出异常告警信号，便于产线故障排查

  8. 内部易损流道配件可单独维护更换，降低整机更换成本

适用场景

  1. 半导体行业，高温工艺气体输送，实现流量精准闭环管控

  2. 薄膜沉积设备，高温前驱体气体供给，防止介质冷凝堵塞管路

  3. 热处理工艺设备，高温保护气体供气回路流量调节

  4. 材料烧结设备，反应气体高温输送配比，保障工艺重复性

  5. 自动化制程设备，高温气路流量调控，输出工况异常报警信号

  6. 原有高温质量流量控制器漂移老化，现场备件替换

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