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日本surpass 工艺气体流量控制设备

描述：日本surpass 工艺气体流量控制设备
本产品为日本萨帕斯工业 Z2000 系列流量控制器，用于工艺气体的流量采集与闭环调节。设备内部整合流量传感部件、调节阀体以及信号处理电路，接收外部设定信号，自动调整阀门开度，把气体流量维持在目标数值，同时向外输出实时流量反馈信号，适配设备内部气路集成使用。

  • 产品型号：Z2000 系列
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-08-08
  • 访问量：11
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本surpass 工艺气体流量控制设备

基础核心参数

  1. 型号：Z2000 系列

  2. 设备类型：流量控制器

  3. 品牌：サーパス工業 SURPASS KOGYO（日本萨帕斯工业）

  4. 作业对象：氮气、氩气等各类工艺气体流量闭环控制

  5. 检测方式：热式质量流量传感，阀体闭环调节

  6. 输出形式：模拟信号、数字通讯输出，对接工控采集控制系统

  7. 安装形式：螺纹接头锁紧，直接接入气体管路

  8. 工作环境：设备气路内部，低粉尘，无凝露

  9. 可选配置：不同量程本体、前置过滤组件、连接线缆另行选配

  10. 标配配件：流量控制器本体、操作手册；管路接头、线缆另行选配

日本surpass 工艺气体流量控制设备

核心功能特点

  1. 闭环流量调节，流量响应稳定，满足工艺连续供气要求

  2. 整机体积小巧，适合设备内部狭小空间嵌入布置

  3. 支持多种通讯方式，方便对接上位工控系统

  4. 多量程规格可选，覆盖大小流量不同供气工况

  5. 具备自检功能，可输出异常信号，便于现场故障排查

  6. 阀件、传感部件维护简单，拆装调试便捷

  7. 可长时间连续运行，适配产线不间断作业场景

  8. 流道易损配件可单独更换，减少整机更换投入

适用场景

  1. 半导体行业，各类工艺气体供气流量闭环管控

  2. 薄膜设备，反应气体输送调节，保障制程重复性

  3. 热处理设备，保护气体供气回路流量控制

  4. 实验室试验设备，试验气源流量精准调控

  5. 自动化制程设备，气路流量管控，输出异常报警信号

  6. 原有流量控制器老化漂移，现场备件替换

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