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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本yamamoto‑ms 应变片式镀层精密应力仪
型号:b‑72wj‑sg
设备类型:应变片式精密应力仪
品牌:yamamoto‑ms(日本)
作业对象:电镀镀层内部应力检测,可识别微小应力,适配半导体、IC 相关镀层、薄膜、晶圆试样;用于电镀研发实验室、精密电子电镀工艺评估、第三方镀层检测机构
工作方式:应变片传感采集;电镀过程实时测量;支持二次镀覆应力测试;符合 JIS H8626 标准;对接配套电镀电源;电脑端自动运算、曲线记录存储
输出形式:实时输出镀层应力数据,生成应力‑膜厚曲线,完成镀层内部应力定性定量评估
安装形式:台面成套摆放,试验槽、传感单元搭配电镀电源,连接电脑即可开展测试
工作环境:实验室平稳台面,做好试片、槽体清洁,镀液做好温控,规避强光与剧烈震动
可选配置:替换测试试片、温度控制组件、计量校验证书另行选配
标配配件:应力仪主机、电镀试验槽、专用板卡、标准试片、信号通讯线缆、操作手册
应变片传感结构,可捕捉传统设备难以识别的微小镀层应力,适配超薄镀层试样测试。
电镀过程实时监测,一次试验获取不同膜厚对应的应力数据,提升试验效率。
支持二次镀覆工况测试,可评估在已有镀层上再次电镀产生的应力变化,贴合实际工艺。
遵循行业测试标准,测试数据具备参考效力,可用于工艺归档与比对。
数据自动换算处理,传感器信号上传电脑,自动输出结果并绘制变化曲线,减少人工计算失误。
适配薄膜、晶圆等易变形试样,覆盖半导体、IC 元器件相关精密电镀场景。
透明耐蚀试验槽,电镀工况便于目视观察,适配多类电镀药水体系。
和同品牌精密电镀电源适配,整套系统协同稳定,减少配套调试工作量。
半导体电子行业,IC 端子、引线框架电镀工艺开发,评估镀层内应力,改善镀层起皮、翘曲不良。
材料研发实验室,各类电镀药水、添加剂配方试验,比对不同工艺条件下的应力水平。
晶圆、薄膜类试样测试,超薄镀层微弱应力检测,把控精密镀层品质。
电镀工艺验证,评估一次镀覆、二次叠加镀覆产生的应力,优化生产工艺参数。
第三方检测机构,镀层应力相关检测,出具可溯源的测试数据。
需要对电镀镀层做微小应力测定,开展镀层性能评估的各类精密电镀工况。
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