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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本katsura‑opto 高速 6D 光学传感器
核心参数
测量对象:配套专用目标靶标
标准工作距离:90±0.5mm
测定项目:双轴倾斜、X/Y/Z 位移、双轴旋转,六轴同步测量
测量量程:倾斜 ±60arcmin;X/Y 位移 ±1mm;Z 位移 ±0.5mm;旋转 ±90arcmin
重复性:倾斜 0.03arcmin;X/Y 位移 1.0μm;Z 位移 0.5μm;旋转 0.2arcmin
线性度:倾斜 ±0.17% FS;X/Y 位移 ±0.44% FS;Z 位移 ±0.6% FS;旋转 ±0.3% FS
光源:660±10nm 激光,光束直径 φ3mm
采样速率:10000 次 / 秒
输出方式:模拟电压输出,数字通讯输出
整机外形:宽 250× 深 150× 高 58mm(不含凸起部位)
安装方式:平台固定,设备内部集成安装
工作环境:室内,避开强光直射,降低外部振动干扰
日本katsura‑opto 高速 6D 光学传感器
功能特点
六轴同步测量,一次采集即可同时获取倾斜、位移、旋转全部六自由度姿态数据。
非接触激光检测,不接触被测工件,不会划伤精密成品零部件。
万次每秒高速采样,可捕捉高速往复、振动工况下瞬时姿态变化。
集成多种光学检测原理,兼顾角度与位移测量,无需多台传感器组合搭建。
输出模拟与数字信号,可对接采集卡与控制系统,实现闭环监控。
测量重复性优异,微小变化也可稳定识别,保障测试数据一致性。
一体化整机设计,传感单元与处理单元整合,减少外围配件,方便设备嵌入。
数值化输出全部维度结果,替代人工主观判断,检测结果具备可追溯性。
适配动态循环运动,可用于耐久试验全程连续记录姿态轨迹。
机身结构稳固,既适合实验室研发测试,也可集成于自动化产线工位。
适用场景
精密运动平台六自由度姿态标定与性能核查。
镜头、光学组件压合工位,压头与底座全维度姿态监测。
VCM 执行器、精密驱动部件动态六维运动特征测试。
半导体设备工装、搬运机构动态位移倾斜旋转同步检测。
研发实验室,各类机构高速运动过程六自由度数据采集分析。
自动化测试设备集成,在线完成工件全维度姿态品质筛查。
精密热压、贴合设备,压合过程姿态变化全过程记录。
科研设备搭建,开展多维度动态姿态持续监测试验。
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