描述：日本SONIC 索尼克 微量超声波液体流量计SONIC 索尼克 μLF-300/μLF-300S 超声波微量液体流量计，采用超声波时差法。μLF-300 为一体式，μLF-300S 为分离式，传感器与药液非接触，无压力损失。可测纯水、IPA、各类化工药液微小流量，测量响应快，精度稳定。带模拟、脉冲及通讯信号输出。多用于半导体湿法工艺、药液吐出检测、涂料配比管控，实现微小液体流量实时监测。

日本SONIC 索尼克  微量超声波液体流量计

日本SONIC 索尼克  微量超声波液体流量计日本 SONIC 索尼克 μLF-300 与 μLF-300S 超音波微少液体流量计，是专门针对微量液体开发的超声波流量检测设备，广泛应用在半导体、精密化工、精密点胶、药液输送等对微小流量管控严苛的工艺场景。设备基于超声波传播时差原理进行流量计算，传感器不接触管路内部介质，属于非接触式检测结构，不会污染药液，也不会被药液腐蚀，适合高纯流体与腐蚀性化学药剂检测。型号分为一体式 μLF-300 与分离式 μLF-300S。一体式主机将转换器与检测头集成，安装简单，适合空间紧凑工位；分离式 μLF-300S 的检测探头与显示转换器分开，探头可放置在产线狭小设备内部，主机放置在便于操作的位置，支持长距离布线，适配自动化设备集成。设备可从 0mL/min 起测，覆盖微小流量区间，每秒 100 次高速采样，响应速度快，流量波动可以快速捕捉。测量精度稳定，小流量区间也能维持良好重复性，不会因为微小流量变化产生大幅读数漂移。管路内无阻挡件，无压力损失，不会干扰原有流体输送状态，这点在半导体高纯药液管路中优势突出。设备自带脉冲、模拟量信号输出，支持通讯接口，可以直接对接 PLC、工控系统，实现流量数据采集、记录与闭环流量控制。可检测介质包含纯水、IPA、各类水溶性药液，介质粘度、温度需在设备允许范围内。适用场景：半导体清洗设备药液流量监控、点胶机微量吐出量检测、涂料与试剂配比控制、机床切削液微小流量监测。选型需要确认管路尺寸、介质种类、流量范围，配套 μLT 系列传感器探头。我司协助核对探头规格，确认货期，提供技术对接。整机价格受探头选型、通讯配件影响，需单独询价。