描述：日本 adtec ADTEC TX AX系列等离子射频电源该系列为等离子工艺配套射频发生器，覆盖 300W 至 30kW 功率区间，适配半导体刻蚀、薄膜沉积工艺。搭载高速电弧检测抑制功能，支持 EtherCAT 数字通讯，可承受高反射功率。整机采用线性放大电路，输出稳定，适配多种等离子腔体。我司可提供选型、技术对接，现货及订货均可咨询。

日本 adtec ADTEC TX AX系列等离子射频电源日本 adtec ADTEC TX AX系列等离子射频电源

产品介绍

产品细节图产品实拍可在 ADTEC 中文产品板块下载，包含整机正面、接口、内部结构、安装尺寸工程图。设备为标准机架式钣金机箱，正面配置显示屏、操作按键、状态指示灯，侧面散热格栅，背部集成射频输出接口、通讯端子、供电接线口。

产品性能

1. 输出频率覆盖 400kHz~40.68MHz，支持脉冲射频输出；

2. 内置电弧快速检测与抑制，降低工艺腔体打火损伤；

3. AB 类线性放大，功率控制平稳，反射功率耐受能力强；

4. 支持 EtherCAT、RS485 等多种通讯，适配半导体设备上位机联动；

5. 功率可调范围广，小功率机型适合实验室，大功率适配量产产线。

用材机箱采用加厚铝合金钣金，表面做防静电喷涂；内部选用高稳定性功率放大器件，射频同轴接口采用高导电铜材，密封件耐温抗老化。内部电路板做三防处理，适配洁净车间环境，降低粉尘、温湿度带来的故障。

参数表

表格

型号TX 系列（300W~5kW，轻量化半机架）；AX 系列（300W~30kW 大功率）；AMVG 自动阻抗匹配装置；BP020A 双极直流电源。

用途半导体晶圆刻蚀、PVD/CVD 薄膜镀膜、MEMS 加工、面板等离子处理、太阳能镀膜、各类工业等离子表面改性设备。

包装采用加厚实木木箱，内部填充防震泡沫，整机做防潮袋密封，配套纸质资料袋，内含说明书、出厂检测报告、接线图纸，防止运输磕碰受潮。

使用说明设备需要安装在洁净机房，保持通风散热；接入三相供电，射频同轴电缆连接腔体；通讯线接入设备控制系统，配套原厂软件完成参数设置；开机前检查射频接口紧固，定期清理滤网灰尘。禁止在未匹配负载条件下长时间开机。