描述：日本SENA 卤素光源晶圆表面缺陷检测装置本款为日本 SENA 185LE 超高强度卤素光源照明装置，用于半导体晶圆目视缺陷检测。采用 185W 直流卤素灯，无频闪，全光谱输出，光斑照度高。搭载非球面光学透镜与强制风冷结构，照度可连续调节。适配洁净车间，可检出晶圆划痕、颗粒、雾斑等微小瑕疵，也可用于玻璃基板、光学镜片外观质检。

日本SENA 卤素光源晶圆表面缺陷检测装置日本SENA 卤素光源晶圆表面缺陷检测装置

产品细节图整机由光源主机、电源控制器、可调支架、光学镜头组成。光源头部带有散热格栅，前端可更换光圈、滤光片；控制器面板集成照度调节旋钮与状态指示灯；金属立式支架可自由调节照射角度与高度，满足不同工件位置检测。配件包含备用卤素灯、滤光片、连接线，各部件接口标准化，拆装便捷。

产品性能设备采用直流点灯方案，消除工频频闪，长时间目视检测不易产生视觉疲劳。在 310mm 照射距离、光斑直径 55mm 条件下，照度可达 40 万 Lux 以上，照度支持 20% 至 100% 连续无级调节。配备强制风冷散热，控制光源温升，维持光输出稳定。光学采用非球面透镜，光斑均匀度良好，低角度强光可放大工件表面微小缺陷，识别微米级划痕、污渍、镀膜色差。整机照度变动率低，适合洁净车间持续质检作业。

用材光源壳体采用高强度压铸铝合金，抗形变，具备良好导热性能；光学透镜选用高透光光学玻璃；支架为碳钢表面喷涂处理，防锈耐腐蚀；电源外壳采用阻燃工程塑料，内部电路做降噪防护。密封件选用耐高温材质，适配光源长时间高温工作环境，降低粉尘进入腔体的概率。

参数表型号：185LE光源类型：17V 185W 直流卤素灯照度：400000Lux 以上（310mm，φ55mm）照度调节：20%~100% 连续可调冷却方式：强制空冷供电电压：AC95V~260V，50/60Hz整机功率：250W光源尺寸：136mm×112mm×150mm电源尺寸：229mm×90mm×250mm光源重量：2.3kg使用环境温度：0~40℃

型号本系列基础型号为 185LE，另有衍生款 185LE-AL 手持型、185LE-W 宽光斑版本，可根据检测工位、工件尺寸选型。本次介绍为标准立式 185LE。

用途主要用于半导体晶圆表面目视缺陷检测，识别硅片划痕、颗粒残留、雾斑、镀膜不均。同时适配光学镜片、玻璃基板、TFT 面板、彩色滤光片、触摸屏基板外观检查，多用于半导体、光学元件、显示面板工厂洁净车间质检工位。

包装采用防震木箱独立包装，内部填充缓冲泡沫，光源主机、电源、支架、光学配件分仓放置，防止运输磕碰。包装内附产品说明书、合格证、配件清单，外包装标注设备型号、防护标识。

使用说明设备放置于稳固工作台，固定支架，连接光源与控制器电源线，确认供电电压符合规格。开机前选择适配光圈与滤光片，缓慢调节照度旋钮至合适亮度。将光斑对准待检工件，调整照射角度，使用低角度侧光观察表面瑕疵。设备工作时光源头部温度较高，禁止直接触碰。作业完成后，先关闭电源，等待光源充分冷却再收纳。洁净车间使用可搭配选配排气管道。卤素灯属于消耗件，亮度衰减后需要更换。