描述：日本 Flow Controls 热式质量流量计控制器GFM/GFC 系列为日本 Flow Controls 通用型热式质量流量计与流量控制器。GFM 为流量监测款，GFC 内置电磁阀，可实现流量闭环控制。采用热式传感原理，直接测量气体质量流量，不受温度压力波动影响。设备体积小巧，压损低，模拟信号输出稳定，适配氮气、空气等洁净气体，广泛用于实验室、半导体、化工工艺的气体流量监测与自动调控。

产品型号：GFM/GFC
厂商性质：代理商
更新时间：2026-10-10
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本 Flow Controls 热式质量流量计控制器日本 Flow Controls 热式质量流量计控制器

产品细节图整机为紧凑型长方体模块，两侧为气体管路快插接口，正面设置调节旋钮、状态指示灯与信号接线端子。GFC 型号内部集成比例电磁阀，GFM 仅为流量检测单元。外壳结构紧凑，可直接安装在气体管路；端子座带有保护盖板，防尘防触碰，管路接头加工精密，拆装便捷，便于集成到各类供气系统。

产品性能依托热式传感原理，气体流经传感管路，通过温度差计算质量流量，无需温压补偿。GFM 负责流量采集输出；GFC 搭配内置电磁阀与 PID 闭环控制，自动调节阀门开度，稳定维持设定流量。测量重复性好，响应速度快，压力损失小。支持 0-5V、4-20mA 模拟信号，可接入 PLC、采集系统，支持本地旋钮设定或远程信号设定。适配多种洁净非腐蚀性气体，长时间连续运行稳定性良好。

用材流体接触部件选用 316 不锈钢，耐洁净气体腐蚀；密封件采用氟橡胶，气密性优异；传感毛细管采用精密不锈钢管材；外壳为铝合金阳极氧化处理，防锈抗粉尘；电路板采用工业级电子元件，温度适应性强；接线端子采用镀金触点，降低信号接触干扰。

参数表型号：GFM（流量计）、GFC（流量控制器）测量原理：热式质量流量适用气体：空气、氮气、氩气等洁净非腐蚀气体流量量程：0～10sccm 至 0～1000L/min（多规格可选）测量精度：±2% FS重复性：±0.5% FS响应时间：≤10s耐压：1MPa输出信号：0-5VDC / 4-20mA供电：±15VDC工作温度：5～50℃，湿度≤85% RH（无凝露）

型号GFM 为单纯热式质量流量计，只监测流量；GFC 是带调节阀的质量流量控制器，可设定并自动控制流量。同系列提供多种量程规格，可根据用气流量选配。

用途用于半导体工艺供气、实验室气体配比、化工反应装置、燃烧工艺、环境测试设备。用于洁净气体质量流量的实时监测与闭环控制，实现工艺气体精准配比，保障生产、实验过程气体流量稳定，用于研发、来料测试、产线工艺管控。

包装独立防震纸盒包装，主机两端配有管路防尘堵头；配套信号线缆、接头、说明书、原厂校验证书。外层加固纸箱，内部缓冲泡沫填充，保护精密传感元件，防止运输震动造成管路变形。

使用说明安装前确认管路洁净无粉尘油污，在干燥无凝露环境安装。气体流向按照壳体标识方向接入管路，完成气密性检查。连接供电与信号线路，设定目标流量，GFC 型号可本地或远程设定流量。定期检查管路过滤器，避免颗粒杂质进入传感腔；禁止超压、湿气体、腐蚀性气体通入设备。长期停机前，用洁净干燥气体吹扫管路。