描述：日本理音 rion 耐腐蚀液中微粒子传感器KS-20F 为日本理音 RION 耐腐蚀液中微粒子传感器，采用 90 度侧向光散射原理，最小可检测 0.02μm 微小颗粒。流体接触部位采用蓝宝石与 PFA 材质，可直接测量等强腐蚀性高纯药液。可搭配 KE-40B1 控制器，支持在线管路连续监测与离线取样检测，最多设置 7 个粒径通道，用于半导体超高纯化学品、超纯水内微粒计数，管控湿法工艺洁净度

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产品细节图整机为卧式模块箱体，正面设置状态指示灯、激光安全标识，侧面配置液体进出管路接头、信号通讯接口。内部光学检测池采用蓝宝石光学窗口，流体通路全 PFA 内衬，耐强腐蚀药液。管路接头规格适配半导体化学管路，结构紧凑，可直接安装在工艺流体管路；自带漏液检测传感，发生液体渗漏可触发报警，保护光学组件，适合洁净车间安装使用。

产品性能采用 532nm 半导体泵浦固体激光光源，侧向散射光学检测，捕捉液体中微小颗粒散射光信号，换算颗粒数量与粒径。最小检测粒径 0.02μm，测量区间 0.02~0.08μm，可划分最多 7 个粒径通道，出厂默认 4 通道。额定流量 10mL/min，最大允许浓度 50000 个 /mL。支持在线连续监测与离线批次取样两种测量模式，搭配控制器可输出报警接点、模拟信号，接入工厂控制系统，实时监控药液内颗粒污染，保障半导体湿法工艺稳定。零计数率低，长期连续检测稳定性良好。

用材与样品液体接触部分为蓝宝石窗口、PFA 氟树脂，耐受、双氧水、氨水等腐蚀性高纯化学品；壳体为铝合金静电喷涂，防尘防锈；内部光学元件选用高稳定镀膜光学组件；激光光源为工业级固体激光器；信号电路板采用高精度光电二极管与工业元器件；管路密封件采用耐化学腐蚀氟材料，减少药液污染风险。

参数表型号：KS-20F品牌：RION（日本理音）检测原理：90° 侧向光散射法光源：532nm 固体激光，额定 1.5W最小可测粒径：0.02μm可设定粒径区间：0.02～0.08μm，最多 7 通道额定流量：10mL/min最大粒子浓度：50000 个 /mL（重合损失 10% 以内）流体接触材质：蓝宝石、PFA供电：AC100~240V，约 250VA配套控制器：KE-40B1检测模式：在线 in-line / 离线 batch 测量附加功能：漏液检测报警

型号KS-20F 属于 RION 耐腐蚀液中粒子传感器，可耐受 HF ；同系列 KS-19F 最小检测粒径 0.03μm，无 HF 耐腐规格，用于常规超纯水检测。

用途半导体晶圆制造湿法清洗、光刻胶、超高纯药液、超纯水的微粒在线监测。检测药液内微小异物颗粒，监控化学药液洁净等级，及时发现管路、过滤器带来的颗粒污染。应用于半导体芯片工厂、材料实验室，用于来料检验、产线在线监控、工艺异常溯源。

包装整机采用加固实木包装箱，光学检测腔、管路接头配有保护堵头，内部定制缓冲泡沫隔离防护。配套管路接头、信号线、原厂校准证书、操作手册。配件独立分隔，防止运输震动损伤精密光学组件。

使用说明设备放置在洁净无尘车间，连接样品管路，确认管路无杂质。接入控制器与供电，校准设备。待测药液按额定流量通入传感器，激光检测池采集颗粒散射信号，控制器统计各粒径颗粒数量。可设置颗粒浓度报警阈值，超标触发联锁信号。检测结束，用洁净溶剂冲洗流道；禁止固体杂质进入检测池，避免划伤蓝宝石窗口。定期执行设备校准，检查漏液传感器状态。