描述：日本 katsura-opto三轴夹角位移倾斜传感器VH-1200 为桂光学一体化三轴光学传感器，结合自准直仪与三角测量原理，单束激光同时检测 Z 向位移、θX 与 θY 两个方向倾斜夹角，属于非接触式测量设备。被测工件推荐为反射率 80% 以上光学平面，采样速率最高 10kHz，模拟 ±5V 信号输出。

日本 katsura-opto三轴夹角位移倾斜传感器日本 katsura-opto三轴夹角位移倾斜传感器

VH-1200 为桂光学一体化三轴光学传感器，结合自准直仪与三角测量原理，单束激光同时检测 Z 向位移、θX 与 θY 两个方向倾斜夹角，属于非接触式测量设备。被测工件推荐为反射率 80% 以上光学平面，采样速率最高 10kHz，模拟 ±5V 信号输出。传感器探头与信号处理单元集成一体，体积紧凑，便于嵌入精密设备。用于光学元件、晶圆、精密载台的平行度、微小倾角与高度位移在线检测，实时反馈姿态偏差，广泛应用半导体、光学组装、精密加工领域。

产品介绍

产品细节图整机为一体化方形金属盒结构，正面设置激光出射窗口，侧面搭载信号输出连接器与供电端子，自带激光警示标识。内部集成激光发射单元、光学接收元件与信号处理电路，无需外接独立控制器。单束激光发射至被测光学平面，反射光由内部感光元件接收，同时解析高度位移以及两个正交方向的倾斜角度。设备预留标准安装孔，可直接固定在自动化设备机架，适配产线自动化集成。配套上位机软件可实时采集波形、记录连续变化数据，便于工艺分析。

产品性能融合三角测距法与自准直测量原理，仅一束激光，即可同步采集三轴数据，分别为 Z 轴位移、X 轴倾角、Y 轴倾角，一次测量同时获取高度与二维倾斜夹角，减少多传感器布局带来的安装误差。最高 10kHz 高速采样，适合动态姿态监测，捕捉微小、快速的角度与位移变化。采用 ±5V 模拟电压输出，可直接接入工控采集卡，用于闭环反馈控制。设备对被测面有反射率要求，光学抛光平面测量效果更佳。整机一体化设计，省去分体式传感头与控制器之间的信号线缆，降低信号干扰，安装调试步骤简化。可实时监测精密载台俯仰、偏摆、高度变化，用于光学元件贴合、晶圆键合工序，实时判定贴合面平行度。

用材外壳采用铝合金材质，轻量化且具备电磁屏蔽效果，抵御工业现场电磁干扰。光学窗口使用高透光光学玻璃，表面镀防护增透膜，防尘抗轻微划伤。内部激光器为半导体激光元件；光学支架采用精密加工铝合金，温度形变小，保证光路长期稳定。内部电路板做防潮涂层，连接器为金属屏蔽接头，降低外部噪声干扰。

参数表

表格

用途半导体晶圆键合、贴合面平行度检测；光学镜片、透镜组装姿态监测；精密位移平台俯仰、偏摆、高度偏差检测；光学元件、玻璃基板微小角度与位移质检；自动化设备光轴对准、精密压装过程实时监控；实验室光学平面平面度、夹角测试。

包装原厂硬质纸箱包装，内部缓冲泡沫保护光学窗口与连接器。内含传感器主机、电源线、信号线缆、说明书、出厂检测报告。上位机采集软件、数据采集卡属于选配件，单独分装。

使用说明将传感器固定在设备机架，调节安装位置，使激光垂直入射被测光学平面。接入 DC24V 电源，连接模拟信号采集线路。开机预热，完成基准标定，设定零点。设备发射激光照射样品，反射光被内部光学系统接收，实时输出位移与双轴倾角信号。使用过程避免粉尘附着光学窗口，粉尘会造成测量漂移。不可直视激光光束；避免剧烈震动传感器，防止内部光路偏移。定期使用标准光学参考平板复核测量精度。