描述：日本UNIPULSE无硅树脂薄膜型荷重传感器UWR-2N 为半导体行业专用无硅氧烷梁式荷重传感器，不含硅树脂，不会析出硅氧烷污染晶圆与光学组件。采用应变片薄膜传感结构，具备耐腐蚀特性，支持微小载荷高精度检测。传感器体积小巧，自重轻，便于集成至半导体自动化设备内部。信号线采用特氟龙护套线缆，耐化学腐蚀。适合晶圆夹持力、抛光压力、芯片贴装压力监测，输出稳定应变信号，可搭配配套仪表采集力值，是洁净制程微

日本UNIPULSE无硅树脂薄膜型荷重传感器日本UNIPULSE无硅树脂薄膜型荷重传感器

UWR-2N 为半导体行业专用无硅氧烷梁式荷重传感器，不含硅树脂，不会析出硅氧烷污染晶圆与光学组件。采用应变片薄膜传感结构，具备耐腐蚀特性，支持微小载荷高精度检测。传感器体积小巧，自重轻，便于集成至半导体自动化设备内部。信号线采用特氟龙护套线缆，耐化学腐蚀。适合晶圆夹持力、抛光压力、芯片贴装压力监测，输出稳定应变信号，可搭配配套仪表采集力值，是洁净制程微小压力在线监测元件。

产品详情

产品细节图整体为小型悬臂梁一体化结构，本体采用铝合金加工成型，侧面预留安装固定螺孔，方便直接嵌入自动化设备机架。内置无硅树脂应变薄膜，应变片密封工艺不使用硅类灌封胶，杜绝硅氧烷挥发。出线端为金属防水接头，连接特氟龙护套 4 芯屏蔽线缆，线缆耐药液腐蚀，适配洁净车间环境。传感器本体尺寸紧凑，重量轻，安装方向灵活，可安装在狭小空间内，不占用过多设备空间，可直接集成在晶圆机械手、抛光头、贴装机构上。

产品性能采用金属应变片薄膜传感原理，额定容量 2N，非线性 0.03% RO，滞后 0.03% RO，重复精度 0.02% RO。安全过载可达额定载荷 300%，固有频率 2.5kHz，响应速度快，可捕捉动态微小力变化。推荐激励电压 5V，桥路输出阻抗约 1000Ω；绝缘电阻 DC50V 下≥1000MΩ。使用温度区间 - 10~+70℃；无硅氧烷析出，满足半导体洁净产线要求；线缆护套耐各类酸碱药液，具备良好耐腐蚀性，在微量化学气体环境中可长期稳定工作。信号输出为应变模拟信号，可外接测力仪表、采集模块实时读取力值。

用材传感器主体采用航空铝合金，轻量化同时保持结构刚性；应变传感薄膜为高精度应变片，封装不使用硅树脂材料，无硅氧烷挥发污染风险；出线接头为不锈钢材质，耐腐蚀；传输线缆采用特氟龙（PTFE）绝缘护套，耐化学溶剂、耐高温，不易老化；内部粘接材料选用无硅系粘接剂，适配半导体洁净环境，避免挥发物污染晶圆、镜头、精密触点。

参数表

表格

型号UWR-2N，UNIPULSE 无硅树脂荷重传感器，传感器本体 + 3 米特氟龙屏蔽线缆，信号放大器需另行选配。

用途主要用于半导体制造设备微小压力监测。晶圆搬运机械手夹持力管控、晶圆抛光压力监控、芯片贴装压合力检测、引线键合压力测试；也可用于精密组装设备微小压力控制、实验室微小力学测试。无硅氧烷析出，不会污染晶圆与光学部件，适合洁净室工艺环境，对产线良率保障起到关键作用。

包装独立防静电袋封装传感器，线缆整理固定，放置于硬质防静电包装盒，盒内缓冲泡沫保护传感器梁体，防止运输受力变形。内含产品出厂校准证书、规格说明书。外包装纸箱加固防护，适合长途运输。放大器、显示仪表等配套设备单独包装。

使用说明安装时选用合适螺丝，不可过度锁紧，避免梁体预受力造成零点漂移。安装位置避开强震动、强冲击工况，传感器梁体不可承受侧向载荷，侧向力会影响测量精度甚至损坏元件。接线按照说明书定义接入测力仪表或信号采集模块，上电前确认接线无误。使用前进行零点调零，定期复检零点。传感器表面可使用洁净溶剂擦拭，不可浸泡在强腐蚀药液内。不可超出额定载荷长期使用，过载会造成弹性体形变。