描述：日本ARK半导体微电子光罩对准UV-LED光源LS-1-RAL3 是日本 ARK TECH 专为半导体、微电子制造开发的光罩对准 UV-LED 光源，中心波长 365nm，用于光刻工序掩模对准照明。光源输出光强稳定，LED 预估寿命 20000 小时，无需频繁更换导光光学耗材。支持光强调节，可搭载光纤输出结构，适配光刻设备集成。设备温控稳定，适合洁净车间环境，用于半导体曝光设备掩膜对位、微电子器件

日本ARK半导体微电子光罩对准UV-LED光源日本ARK半导体微电子光罩对准UV-LED光源

LS-1-RAL3 是日本 ARK TECH 专为半导体、微电子制造开发的光罩对准 UV-LED 光源，中心波长 365nm，用于光刻工序掩模对准照明。光源输出光强稳定，LED 预估寿命 20000 小时，无需频繁更换导光光学耗材。支持光强调节，可搭载光纤输出结构，适配光刻设备集成。设备温控稳定，适合洁净车间环境，用于半导体曝光设备掩膜对位、微电子器件光刻对准，降低产线维护成本。

产品介绍

产品细节图整套设备由光源控制主机、UV-LED 发光单元、光纤输出组件、光学准直模块、信号通讯端子组成。主机为紧凑型箱体结构，可放置在设备台面上，也可集成嵌入半导体制造设备内部。前面板设置操作按键与状态显示窗口，可实时查看光源运行状态，支持光输出强度调节。发光头可搭配光纤传导紫外光线，将光源输送至光刻光路内部，用于光罩标记对位成像。光学腔体采用密封设计，隔绝洁净车间粉尘，保护内部 LED 芯片与光学镜片。设备预留外部控制接口，支持上位机信号联动，可与光刻主机同步触发照明。

产品性能采用 365nm 紫外 LED 芯片作为发光核心，专为掩模对准光路设计，光线均匀度高，保障图像识别精度。LED 预估寿命 20000 小时，在光源强度维持初始值 50% 以上的累计点亮时长，相比传统汞灯，减少导光光学部件更换频次，降低产线停机维护。内置温度监控与温控回路，抑制 LED 发光面温度漂移，长时间点亮时光强波动小，保证多次对位成像一致性。支持分级光强调节，可根据掩膜材质、相机感光参数调整输出能量。具备外部信号触发功能，可联动光刻设备实现同步点亮与熄灭。设备内置故障自诊断，异常时报警并切断 UV 输出，保护后端光学组件与产线设备。运行发热量低，不会对周边精密光学器件造成热形变影响。

用材LED 发光芯片选用工业级紫外 LED，发光一致性良好。光学窗口、准直镜片采用紫外高透光学玻璃，镀膜处理，减少紫外光损耗。光源主机壳体采用铝合金，硬质阳极氧化，屏蔽电磁干扰，适配半导体洁净厂房。光纤采用紫外专用石英光纤，低紫外损耗。内部电路板喷涂防潮防尘防护涂层，适配洁净车间温湿度环境。密封垫圈选用耐老化氟橡胶，阻挡粉尘进入光学腔体。散热组件采用铝合金散热鳍片，保障 LED 恒温运行。

参数表

表格

型号LS-1-RAL3 为本款标准对准照明机型；同系列 LS 系列包含多型号 UV-LED 点光源、线光源。定制光纤长度、光学滤镜、上位机控制软件属于选配。本品仅用于光罩对准照明，不可直接作为曝光光源。

用途半导体光刻工序掩膜 / 光罩对准照明；微电子器件光刻对位成像；晶圆、基板精密定位视觉照明；FPD 平板显示光刻对准；半导体设备集成配套光学照明；科研光刻实验掩模定位观测。

包装定制加固出口木箱，光源主机泡沫缓冲包裹，光学镜头、光纤单独防护，避免弯折、划伤光学端面。配件、线缆分格存放。箱内附带原厂检验证书、光学规格手册，远洋运输做防震防潮处理，开箱检查光纤端面、光学窗口无破损。

使用说明将主机放置在洁净车间平稳位置，连接光纤输出头，接入电源。将光纤输出端接入光刻设备的对准光路，接通电源开机。在面板调节 UV 输出强度，或接入外部控制信号，由产线设备联动触发光源。设备运行期间保持环境洁净，避免粉尘附着光学镜片与光纤端面。作业结束关闭光源，等待 LED 冷却后再检修。定期使用无尘擦拭纸清洁光学窗口，禁止硬物触碰光纤端面。定期查看设备报警信息，监控 LED 光衰。不可直视紫外出光口，佩戴紫外防护眼镜操作。

售后服务我司提供到货开箱验收，协助设备就位、光纤装配、光强调试与操作培训。原厂质保期内，非人为损坏故障提供维修；光纤、光学镜片等耗材配件可单独订货。可提供光学方案咨询，协助光路搭建、光强参数选型。