描述：美国Alicat气体质量流量计工业流体检测MFMM-1SLPM-D-IB/5M 是美国 Alicat M 系列层流差压式气体质量流量计，满量程 1SLPM（氮气基准）。D 代表数字通讯，IB 为 DB15 电气接口，/5M 代表配套 5 米屏蔽信号电缆。采用层流压差测量原理，可同时检测质量流量、体积流量、压力与温度，内置 98 种预标定气体，宽量程比。支持模拟 + 数字信号输出，响应快，精度稳定。

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M-1SLPM-D-IB/5M 是美国 Alicat M 系列层流差压式气体质量流量计，满量程 1SLPM（氮气基准）。D 代表数字通讯，IB 为 DB15 电气接口，/5M 代表配套 5 米屏蔽信号电缆。采用层流压差测量原理，可同时检测质量流量、体积流量、压力与温度，内置 98 种预标定气体，宽量程比。支持模拟 + 数字信号输出，响应快，精度稳定。适用于半导体、材料气相实验、气体配比、科研色谱气路，用于工艺气体质量流量监测。

产品介绍

产品细节图整机由层流传感单元、压力温度检测模块、主控电路板、DB15 数字通讯接口、气体管路接头、配套 5 米屏蔽信号电缆组成。设备为模块化紧凑型结构，可直接固定在气路支架上。机身正面自带背光显示屏，可直接现场读取流量、温度、压力实时数据；机身后侧设置工艺气体进出口、电源与 DB15 通讯端口，搭配 5 米信号线连接上位机，远程读取、记录全部测量参数。外壳采用铝合金壳体，具备电磁屏蔽效果；流道可按需选择 VCR 或卡套接头，拆装便捷。内部流道经精密抛光，降低气体吸附残留，适合洁净工艺气体管路。

产品性能采用 Alicat 自研层流差压多变量传感技术，直接测量气体质量流量，相比热式 MFC，温压波动带来的影响更小，同时采集质量流量、体积流量、压力、温度四项参数。满量程 1SLPM，量程比可达 10000:1（0.01~100% FS），测量精度最高 ±0.5% 读数，重复性优异，响应毫秒级。内置 Gas Select 气体数据库，98 种气体预存标定参数，切换气体无需硬件改动。同时支持模拟信号、Modbus 数字通讯，电脑端可实时采集、存储数据曲线。具备状态自诊断，可监测设备运行异常。设备无内置电磁阀，仅做流量测量，无法自动调节流量；如需流量控制，应选用 MC 系列 MFC。长期连续运行稳定性好，适合科研与工业洁净气路长期监测。

用材层流传感元件为精密特种加工件；气体接触流道、管路接头选用 SUS316L 不锈钢，电解抛光，低析出。整机外壳铝合金硬质阳极氧化，屏蔽电磁干扰。密封件标配 EPDM，可升级氟橡胶适配特殊气体。配套 5 米信号线为双层屏蔽线缆，外皮耐磨抗老化，降低现场电磁噪声。主控电路板做防潮防尘涂层，适配实验室与洁净车间环境。DB15 航空接头锁紧牢固，拆装方便。

参数表

表格

型号M-1SLPM-D-IB 为流量计本体型号；后缀 / 5M 代表配套 5 米信号电缆。同系列 M-2SLPM、M-5SLPM 等为其他量程；MS 系列为防腐款。VCR 接头套件、前置气体过滤器、上位机采集软件、定制长度电缆属于选配。本品只可测量洁净干燥气体，不可通入带粉尘、液态雾滴、强腐蚀介质；无阀门，不能自动调控流量。

用途半导体工艺气体流量监测；CVD、气相沉积材料研发实验；实验室混合气体配比系统；色谱、光谱仪器供气检测；新材料烧结保护气监测；高校科研流体试验；微量气体供给的质量流量记录与数据采集。

包装定制加固出口木箱，流量计主机泡沫缓冲包裹，保护内部精密层流元件；信号线、管路接头、配件分格存放。箱内附带原厂 NIST 溯源校准证书、接线手册、维护文档，适合海运进口，开箱检查接口、显示屏无磕碰损伤。

使用说明将设备固定在气路支架，确认气体流向按照机身标识方向连接管路。连接 DB15 5 米屏蔽信号线，接入 DC24V 电源与上位机。通气前完成管路检漏，确认无泄漏，开机等待短时间预热。设备可本地屏幕读数，也可电脑通讯采集实时数据。试验结束，通入洁净吹扫气清理管路，关闭气源，断电。长期存放保持管路干燥洁净。定期执行仪器校验；避免超压运行。不可直接通入含颗粒物、液态介质的气体，防止损坏层流传感器。

售后服务我司提供到货开箱验收，协助设备就位、管路装配、接线通讯调试与操作培训。原厂质保期内，非人为损坏故障提供维修；密封件、信号线等耗材配件可单独订货。可提供气路方案咨询，协助量程选型、气路系统搭建。