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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本Kenko-Tokina卤素光源晶圆食品膜厚检测日本Kenko-Tokina卤素光源晶圆食品膜厚检测
日本 Kenko-Tokina 肯高图丽 KT-M1020D 波长可调卤素光源,搭载 LVF 线性可变滤光片,近红外波段自由选波,无需多组 LED 灯源。波长区间 1250~2500nm,实用区间 1250~2200nm,配套专用软件 PC 设定波长,支持外部指令控制。标配 1m 红外光纤输出,可搭配 SWIR 相机,用于硅晶圆背面观察、薄膜膜厚测量,食品果蔬糖度 / 异物无损检测、树脂材质鉴别。适合半导体、食品、材料实验室,单台光源覆盖多种单色光谱检测,简化检测光路搭建。
本产品为日本 Kenko-Tokina(肯高图丽)KT-M1020D 波长可变卤素光源,主光源为卤素灯,依托 LVF 线性可变滤光片技术,一台设备可输出不同近红外单色光,替代多组固定波长 LED 光源。通过 PC 软件自由设定目标波长,也可通过外部通讯指令远程控制输出,适配机器视觉、光谱成像类检测场景。搭配 SWIR 红外相机,完成晶圆内部观测、薄膜膜厚测量、食品异物无损筛查、高分子材料判定,广泛用于半导体、食品、新材料研发与在线检测。
产品性能:采用 LVF 线性可变滤光片,波长可连续设定,波长理论分辨率 25nm/mm,实用波长 1250~2200nm,覆盖短波红外区间。主机内置卤素灯,输出光谱稳定;自带模拟调光输入,可调节光强。标配 1m 红外光纤导出光线,便于集成到检测设备腔体。配套 PC 专用软件,可视化设置波长参数;具备灯泡寿命监测、灯泡断线告警输出,可远程熄灯控制。光路杂光抑制优异,非目标波段透过率控制在 1% 以下。支持设备嵌入自动化产线,D-Sub15P 接口实现外部信号联动,适合批量在线检测。
用材:主机壳体采用硬质铝合金壳体,结构紧凑,抗电磁干扰。内部光学元件经过稳定化处理,降低温漂对波长精度的影响;卤素灯座散热结构优化,长时间连续运行温度可控。红外光纤选用适配 SWIR 波段光纤,传输损耗低;接口接头精密加工,减少漏光。电控板带屏蔽防护,适应工业车间电磁环境。
核心参数表
表格
| 参数项目 | 规格指标 |
|---|---|
| 产品型号 | KT-M1020D |
| 光源类型 | 卤素光源 + LVF 线性可变滤光片,波长可调 |
| 波长范围 | 1250~2500nm;实用区间 1250~2200nm |
| 波长分辨率 | 理论 25nm/mm |
| 杂光抑制 | 非目标波段透过率≤1%(900~3000nm 阻止带) |
| 光纤配件 | 标配 1m SWIR 红外光纤 |
| 控制方式 | PC 专用软件设定波长;D-Sub15P 外部控制接口 |
| 调光功能 | 0~5V 模拟调光输入 |
| 告警信号 | 灯泡断线检测输出,远程熄灯控制 |
| 功耗 | 205W |
| 外形尺寸 | W140×D255×H140mm |
| 整机重量 | 4.2kg |
| 工作环境 | 0~40℃,湿度 20~85%(无结露) |
| 供电 | AC90~130V,50/60Hz |
用途:半导体硅晶圆背面图案观察;薄膜、涂层非接触膜厚检测;食品、医药异物无损检测;果蔬糖度、新鲜度、缺陷分选;树脂材料鉴别、老化判定;不透明包装内部透视检测;材料近红外光谱成像试验;实验室光学研究、机器视觉开发,替代多组单色 LED 照明方案。
包装:整套包装包含 KT-M1020D 光源主机、1m 红外光纤、电源线、配套 PC 软件光盘、原厂操作手册。硬质木箱防护,光纤、光学接口单独缓冲保护。选配长光纤、专用镜头单独分装。
使用说明:设备放置于干燥无结露环境,连接 PC 与控制线缆,安装配套软件。开机预热光源,在软件设定目标波长,调整光强,光纤输出近红外单色光,对接 SWIR 相机与检测光路。运行时监控灯泡状态告警信号。设备停机等待光源冷却后再收纳。光纤弯折半径不能小于最小弯曲半径,防止光纤损坏;光学端面禁止触碰,仅可用无尘镜头纸清洁。禁止拆解内部 LVF 滤光组件,会造成波长偏移。定期检查卤素灯泡老化状态,按需更换。
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