描述：日本 NISSIN 6kW 等离子水冷微波电源日本 NISSIN MPS-60W-400-CE 为三相 400V 输入、6kW 水冷式工业微波电源，CE 认证。分体式结构，电源单元与磁控管振荡头分开布置，频率 2455MHz，功率 500–6000W 连续可调，低纹波输出，功率稳定度 ±2%。整机全水冷密闭结构，无散热风扇，适合粉尘、潮湿工况长时间连续运行。自带过压、过流、超温、灯丝故障、外部联

日本 NISSIN  6kW 等离子水冷微波电源日本 NISSIN  6kW 等离子水冷微波电源

日本 NISSIN MPS-60W-400-CE 为三相 400V 输入、6kW 水冷式工业微波电源，CE 认证。分体式结构，电源单元与磁控管振荡头分开布置，频率 2455MHz，功率 500–6000W 连续可调，低纹波输出，功率稳定度 ±2%。整机全水冷密闭结构，无散热风扇，适合粉尘、潮湿工况长时间连续运行。自带过压、过流、超温、灯丝故障、外部联锁保护，搭载远程通讯接口，多用于等离子激发、材料改性、微波化学、半导体工艺加热，需搭配 MG-60SCJ-W-CE / MG-60SCT-W-CE 振荡头使用。

产品介绍

日本 NISSIN（日新）MPS-60W-400-CE 是面向工业等离子、微波工艺的大功率逆变式微波电源，专门适配三相 400V 工业供电体系，区别于风冷机型，采用全水冷密闭设计，没有风扇进风口，规避粉尘堆积、潮湿凝露带来的故障，适合 24 小时不间断量产产线集成。产品为分体模组化设计，电源本体和磁控管振荡单元独立，布线、腔体布局自由度高，方便嵌入真空腔体、等离子处理设备、连续式微波反应系统。支持两种控制模式：方向性耦合器反馈闭环控功率，或者直接对磁控管输入功率反馈控制，适配不同工艺精度需求。输出纹波低，等离子起辉稳定，不易断弧，加热均匀性更好。面板本地操作 + 远程信号控制双模式，方便对接 PLC、上位机自动化流程。全套安全联锁，外部腔体门信号可接入互锁，微波异常时快速切断高压，保障设备和工艺安全。用材：电源壳体钢板密闭焊接，内部逆变模块、高压回路做绝缘灌封；水冷流道不锈钢管路；配套振荡头磁控管为工业长寿命规格，波导接口标准法兰。

核心参数表

表格

适用场景

半导体等离子清洗、表面活化、PECVD；材料微波改性、粉体烧结；微波化学合成、萃取；真空等离子处理；连续式工业微波加热；高校与企业研发平台等离子工艺试验。

包装

电源单元、磁控振荡头、波导配件独立防护，定制木箱封装；附带日文原版手册、出厂功率校验报告、接线图纸。

使用说明

冷却水循环系统必须提前开启，确认流量水温达标后再上电；严格按要求接入外部安全联锁；波导组件做好密封与匹配，降低反射功率；定期检查水路过滤器、密封圈，防止水垢堵塞；磁控管属于消耗件，长期高负载使用需定期评估更换。

售后服务

提供水路配置、波导匹配、工艺调试、远程通讯对接指导；磁控管、密封件、环行器、定向耦合器等配件可单独订购；故障远程排查，上门校准、检修另行协商。