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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本 Nanotech新材料开发二维晶体积层装置日本 Nanotech新材料开发二维晶体积层装置
日本 Nanotech Inc MA100tm 二维晶体积层装置,与东京大学合作开发,为新材料研发紧凑型手动堆叠设备。搭载 XYZθ 四轴精密对准台、温控样品台,支持 Pick-up、Drop-off 两种主流堆叠工艺,依靠温度调控胶膜粘附力,完成石墨烯、二硫化钼、hBN 等二维晶体精准转移堆叠,制备异质结样品。配备高倍率对位显微镜,真空吸附样品固定,铰链式载台换样便捷,可按需定制改造,适合高校、科研院所二维材料实验室试样制备。
产品性能MA100tm 属于科研用手动二维晶体堆叠设备,核心用于二维原子薄层的精准对位与转移积层,制备人工异质结、莫尔超晶格样品。配置 XYZθ 四轴调节机构,可多角度精细对位;球面滑动式样品台能够微调上下接触面平行度,减少转移过程中的褶皱、破损。样品台支持温度步进调节,通过改变温度调控高分子胶层的粘附力,以此实现 Pick-up 拾取转移、Drop-off 释放堆叠两种工艺。上下均设置真空吸附样品架,铰链式上支架开合方便,试样拆装简单;搭配变焦对位显微镜,实验过程实时观察对位状态,保障堆叠精度。同系列还有 MA100ts 版本,该版本无需电脑即可直接显微观察。设备支持定制化改造,可适配手套箱环境,满足对水氧敏感二维材料的制备需求。用材主体机架采用硬质铝合金,刚性稳定,长期微调不易形变。样品承载接触面为低析出平整基材,减少对二维样品的污染;真空吸附管路采用耐温 PTFE 管材,适配样品台升温工况。光学镜筒、物镜为精密光学组件,光路经过防尘处理;调节旋钮为精密微分头,调节顺滑、回差小;密封件选用低挥发橡胶,适合洁净实验室环境。真空控制阀、接头做工精密,吸附稳定,不易发生样品滑脱。型号MA100tm(衍生型号 MA100ts)核心参数表
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | MA100tm |
| 操作方式 | 全手动对位堆叠 |
| 对准机构 | XYZθ 四轴精密调节台 |
| 样品台控温 | 室温~200℃,1℃步进设置 |
| 样品固定方式 | 上下真空吸附样品架 |
| 样品台结构 | 球面滑动式,平行度可调 |
| 配套观察 | 高分辨率变焦对位显微镜 |
| 支持工艺 | Pick-up、Drop-off 二维晶体堆叠 |
| 特色 | 可定制、可选手套箱适配版本 |
用途石墨烯、二硫化钼、六方氮化硼等二维材料异质结制备;转角超晶格、莫尔材料试样研发;二维光电、超导、磁传感新材料基础研究;高校、科研院所纳米材料实验室样品制备;新型二维器件前期工艺探索。不适用于大面积量产制程,属于实验室小样研发设备。包装主机、显微镜组件、微分调节组件、真空管路、密封配件分别缓冲防护,出口木箱封装;内含操作说明书、出厂对位性能检测记录,木箱做好减震避光防护,避免光学镜头、精密调节机构磕碰受损。使用说明设备放置在防震光学平台上,减少外界震动影响对位精度;连接真空气源,确认真空吸附稳定;根据工艺需求设定样品台温度,待温度稳定后再开展转移操作;对位过程缓慢调节微分头,观察显微镜画面,避免晶体拉扯破损;实验结束后,清理样品台残留胶渍,关闭真空与加热。光学镜头定期防尘,避免粉尘影响观察效果;该机型为手动科研设备,不适合连续大批量样品制备。
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