描述：日本 YUTAKA R20 高压标准流量压力调节器日本 YUTAKA（ユタカ / Crown）R20 高压标准流量型压力调节器，e-flow 系列高纯气体专用，为老款 ERS 的升级替代型号。自带内置过滤器，入口最高 19.6MPa，出口分多档量程最高 0.99MPa，标准流量可达 60NL/min。有螺纹双卡套、金属垫片焊接两种接头款式，低泄漏、低死体积，元压变动带来的输出漂移很小，材质可选 S

日本 YUTAKA R20 高压标准流量压力调节器日本 YUTAKA R20 高压标准流量压力调节器

日本 YUTAKA（ユタカ / Crown）R20 高压标准流量型压力调节器，e-flow 系列高纯气体专用，为老款 ERS 的升级替代型号。自带内置过滤器，入口最高 19.6MPa，出口分多档量程最高 0.99MPa，标准流量可达 60NL/min。有螺纹双卡套、金属垫片焊接两种接头款式，低泄漏、低死体积，元压变动带来的输出漂移很小，材质可选 SUS316L、哈氏合金 C，适配惰性、可燃、部分腐蚀性高纯气体，多用于半导体气瓶柜、气体管路供气稳压。

产品介绍

产品性能R20 是面向半导体工艺的高压标准流量精密调压阀，针阀式调节结构，内部集成过滤器，阻挡气源杂质，保护下游用气设备。调压稳定性优秀，入口压力每变化 0.1MPa，输出压力变化仅 0.00086MPa，适合对压力波动敏感的工艺场景。分螺纹双卡套和金属焊接两种版本，焊接款氦检泄漏率更低，适合超高纯工况。Cv 值 0.08，额定标准流量 60NL/min，满足大部分标准流量供气需求。可配套双压力表直观观察一次侧、二次侧压力，密封、流道结构控制颗粒析出与死空间，符合半导体高纯供气要求。可根据气体特性选配哈氏合金材质，适配腐蚀性特种气体。

用材本体标准 SUS316L；接触介质部件可选哈氏合金 C；膜片为金属膜片；接头双卡套 / 金属焊接密封；内部滤芯为高纯过滤材质；压力表外壳防锈处理。

型号

R20（高压标准流量型，e-flow 系列）核心参数表

表格

用途半导体气瓶柜、阀箱高纯供气稳压；实验室标准气体、混合气体调压；惰性气体、可燃气体、弱腐蚀特种气体管路调压；光伏、新材料研发高纯气源控制；分析仪器供气前端减压稳压。不适用于超大流量工况（可选大流量 RH2-D 等系列）。包装调压阀主体、压力表、说明书、出厂氦检报告缓冲防护，出口木箱封装。使用说明安装前吹扫管路，避免杂质进入阀内部；按照气体种类、压力区间选定规格；缓慢调节旋钮，禁止超压使用；定期核查泄漏、更换内置滤芯；腐蚀性气体版本定期检查膜片腐蚀状态；焊接款尽量避免反复拆装。售后服务提供气体选型、量程匹配、管路配管指导；压力表、滤芯、接头配件可单独订购；远程协助排查压力不稳、泄漏故障，上门调试检漏另行协商。