描述：Adtec-RF 高周波射频电源 TXR TXL 系列高周波射频电源，系列覆盖多种功率等级，输出稳定，用于半导体制造、液晶制造等制程，作为等离子体激励电源，适配刻蚀、沉积、清洗设备，可靠性高。

产品型号：TXR/TXL/TXM/TXH 系列
厂商性质：代理商
更新时间：2026-10-29
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

Adtec-RF 高周波射频电源 TXR TXL 系列Adtec-RF 高周波射频电源 TXR TXL 系列

高周波射频电源，系列覆盖多种功率等级，输出稳定，用于半导体制造、液晶制造等制程，作为等离子体激励电源，适配刻蚀、沉积、清洗设备，可靠性高。

产品介绍：产品细节图可以看到电源主机、前面板、输出接口、冷却结构，系列不同功率版本外观规整，面板显示输出参数，接口标准化，便于设备集成。产品性能上，输出射频功率稳定，频率稳定，负载适应性强，作为等离子体激励源，用于半导体、液晶制程的刻蚀、薄膜沉积、清洗等工艺；具备善的保护功能，过压、过流、过温保护，输出可调，配套设备稳定运行，减少工艺波动。用材方面，主机采用工业级结构，散热可靠，内部功率器件稳定，屏蔽抗干扰，输出接口绝缘可靠。核心参数表

项目	参数
型号	TXR / TXL / TXM / TXH 系列
类型	射频电源
应用	半导体、液晶制造
输出	射频功率可调
保护	过压过流过温保护

型号：TXR、TXL、TXM、TXH 系列。用途用于半导体刻蚀、薄膜沉积、清洗设备、液晶面板制造，等离子体工艺激励电源。包装采用加固木箱，电源主机、连接线缆、说明书、检验报告防护。使用说明：接入匹配负载，按设备要求设定输出参数；确认冷却正常；做好接地屏蔽；定期检查接口与散热。售后服务：提供设备对接、参数调试指导，质保按品牌标准，配件可单独订购。

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描述：Adtec-RF 高周波射频电源 TXR TXL 系列高周波射频电源，系列覆盖多种功率等级，输出稳定，用于半导体制造、液晶制造等制程，作为等离子体激励电源，适配刻蚀、沉积、清洗设备，可靠性高。

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