描述：UV 照射器 ALE/1C 晶片周边曝光固化装置ALE/1C 紫外照射器，用于半导体晶片周边曝光、紫外线固化，可搭配晶片步进机使用，紫外输出均匀，光斑可控，适配晶圆边缘光刻、保护胶固化工序。

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厂商性质：代理商
更新时间：2026-10-31
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

UV 照射器 ALE/1C 晶片周边曝光固化装置UV 照射器 ALE/1C 晶片周边曝光固化装置

ALE/1C 紫外照射器，用于半导体晶片周边曝光、紫外线固化，可搭配晶片步进机使用，紫外输出均匀，光斑可控，适配晶圆边缘光刻、保护胶固化工序。

产品介绍：产品细节图可以看到照射主机、紫外光源模组、光路调节结构、控制接线端口，出光窗口规整，可对接半导体产线设备。产品性能上，设备输出特定波段紫外光，光束均匀性良好，可精准覆盖晶片边缘区域，完成周边曝光或者树脂固化；可匹配晶片步进机时序联动，曝光时长、光功率可调，减少晶圆中心区域受光影响，满足半导体后端封装、边缘光刻工艺要求，光功率稳定，批次工艺一致性好。用材方面，光路镜片镀膜处理，减少杂散光，光源腔体隔热防护，外壳做防尘设计，适配洁净车间环境。核心参数表

项目	参数
型号	ALE/1C
类型	UV 照射器
工艺	晶片周边曝光、UV 固化
适配设备	晶片步进机
特点	光斑可控、出光均匀
使用环境	半导体洁净车间

型号：ALE/1C。用途用于半导体晶圆边缘曝光、光刻胶固化、晶片周边保护胶紫外固化，搭配步进机使用。包装为木箱，照射主机、光路组件、控制线、说明书、出厂检测报告。使用说明：在洁净环境下安装；开机预热稳定光功率；做好遮光防护；定期清洁出光窗口，避免粉尘影响光斑。售后服务：提供工艺调试、时序对接指导；质保按品牌标准，光源、镜片耗材可单独订购。

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描述：UV 照射器 ALE/1C 晶片周边曝光固化装置ALE/1C 紫外照射器，用于半导体晶片周边曝光、紫外线固化，可搭配晶片步进机使用，紫外输出均匀，光斑可控，适配晶圆边缘光刻、保护胶固化工序。

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