描述：日本 YUTAKA U5A/U5D 高纯气体压力表U5A/U5D 系列为半导体高纯气体专用压力表，双压环接头结构，禁油禁水生产，SUS316L 接气部，适合气体管路、气柜、半导体工艺管路压力就地显示。

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更新时间：2026-11-03
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本 YUTAKA U5A/U5D 高纯气体压力表日本 YUTAKA U5A/U5D 高纯气体压力表

U5A/U5D 系列为半导体高纯气体专用压力表，双压环接头结构，禁油禁水生产，SUS316L 接气部，适合气体管路、气柜、半导体工艺管路压力就地显示。产品细节图可见 φ50 表盘、压力表本体、VCR 双压缩环接头、金属密封底座。产品性能表盘直径 50mm，精度等级 1.6 级；接气部 SUS316L，可选择镜面抛光，表面粗糙度 Ra≤0.2μm；禁油禁水出厂处理，满足超高纯气体规范；U5A 为螺纹款，U5D 为焊接款，金属垫片密封，氦检泄漏率低；可选正压表、复合联成表，多量程可选，适配不同工艺压力。用材波登管、基座 SUS316L，密封件金属垫片。型号 U5A、U5D，用途半导体高纯气体管路、特种气体柜、气瓶支管压力就地监测。配套参数表包含表盘尺寸、精度、材质、处理工艺、密封形式、温度范围。产品单独防尘包装，接口保护堵头。安装时保护表盘，避免冲击，管路禁止油污污染。售后提供量程选型、备件供应。