描述：日本LINTEC MC-700可变量程质量流量控制器MC-700 系列热式质量流量控制器，自带可变量程功能，单台可切换多档流量范围，搭载 RS-232 通讯接口，用于半导体工艺气体精准流量调节，重复性好，响应稳定。
产品细节图可见 MFC 本体、气体进出接口、通讯端子、量程调节旋钮、状态指示灯。产品性能热式流量传感，控制精度 ±1% FS，重复性 ±0.2% FS；可变量程 VR 功能，一台覆盖多

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厂商性质：代理商
更新时间：2026-11-03
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本LINTEC MC-700可变量程质量流量控制器日本LINTEC MC-700可变量程质量流量控制器

MC-700 系列热式质量流量控制器，自带可变量程功能，单台可切换多档流量范围，搭载 RS-232 通讯接口，用于半导体工艺气体精准流量调节，重复性好，响应稳定。产品细节图可见 MFC 本体、气体进出接口、通讯端子、量程调节旋钮、状态指示灯。产品性能热式流量传感，控制精度 ±1% FS，重复性 ±0.2% FS；可变量程 VR 功能，一台覆盖多档流量，降低备件种类；RS232 数字通讯，可上位机设定流量、读取实际流量；金属密封可选，内部镜面抛光，适配洁净工艺气体；压差适应范围宽，适合持续稳定供气，阀门常闭 / 常开版本可选。型号 MC-700（MC710/720/730），用途半导体沉积、刻蚀工艺，氮气、氩气、氧气等工艺气体流量精密控制。配套参数表包含量程、精度、响应时间、通讯接口、密封形式、供电。产品洁净防尘包装，气口密封保护。安装前管路吹扫，避免颗粒进入本体；定期校准零点。售后提供通讯调试、气体标定、备件供应。

参数项目	参数参考值
量程（N2 换算）	10SCCM~50SLM
控制精度	±1%FS
重复性	±0.2%FS
通讯	RS-232
响应时间	1s
供电	DC24V

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