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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本长野 nagano ZT11-DNE 压力传感器日本长野 nagano ZT11-DNE 压力传感器
这款专为半导体工艺开发的压力传感设备,机身小巧,接液部位采用全焊接结构,洁净度高,适配高纯工艺气体管路。搭载蒸镀式半导体感应元件,信号输出稳定,长期使用气密性良好。支持电解抛光、通用以及超高洁净多种等级,可适配洁净车间使用环境。自带零点与量程微调,防护性能良好,标准输出信号方便接入工控采集系统。原厂在洁净环境完成组装与检测,常备现货,华中地区可以协助选型与技术对接。
产品介绍
产品细节图整机为小型圆柱式变送器,侧面印有型号、等级与量程标识;下部一体加工不锈钢接头,适配对应规格管路,上部为调节旋钮区域,配有保护封盖;顶端为 M12 电气接插件,接插件啮合之后满足对应防护等级。接头、壳体布局紧凑,适合安装在气柜狭小空间,线缆可选用直头或者弯头款式。接液内壁经过特殊处理,减少微粒析出,满足半导体供气管路对洁净的要求。
产品性能采用蒸镀半导体应变感应结构,压力变化稳定转化为标准电流信号。整机线性、迟滞与重复性表现良好,零点与量程支持外部微调,方便现场校准。具备不错的温漂控制,车间温度波动时读数稳定。有常规版本与无引燃防爆可选,适配不同工况。气体通路全焊接,没有密封圈带来的析出风险,检漏等级严格,适合持续通入高纯气体的工艺管路。
用材接液主体为不锈钢,全熔接成型;EP 等级内壁电解抛光,GP 为通用抛光;超高洁净版本可选钴镍合金膜片。外壳为金属机壳,表面防锈处理;调节旋钮为耐磨树脂,电气接头金属外壳搭配密封胶圈;内部电路板带有防护涂层,降低水汽、粉尘带来的影响。
参数表
表格
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | ZT11-DNE |
| 品牌 | NAGANO KEIKI 长野计器 |
| 连接接口 | 1/4" UJR(俗称 MVCR) |
| 输出信号 | 二线制 4–20 mA |
| 供电 | 15~24 V DC |
| 精度 | ±0.25% F.S. |
| 防护等级 | IP67(插头锁紧状态) |
| 接液材质 | SUS316L,全焊接 |
| 等级 | EP(电解抛光,本款 E),GP / UC 可选 |
| 调节 | 零点、量程外部可调 |
| 使用介质 | 半导体高纯工艺气体 |
型号ZT11 是长野面向半导体的压力变送器系列;DN 代表接头形式,E 代表 EP 电解抛光等级。同系列还有其他接头版本,包含 VCR、其他规格 UJR;后缀代码区分量程、精度等级、线缆长度与接头样式。订货时必须确认压力量程、洁净等级、是否需要防爆以及线缆规格。
用途半导体工艺高纯供气柜压力监测、晶圆制程管路压力采集、特种气体分配管路、实验室高纯气路、光伏与显示行业工艺气路、各类洁净流体管路在线压力采集。
包装原厂双层密封包装,EP、UC 等级氮气封存;内含变送器本体、合格证、出厂检测报告、说明书;选配线缆单独分装,运输使用防震泡棉防护,避免磕碰划伤抛光面。
使用说明安装前确认管路洁净,吹扫管路,避免颗粒划伤接液内壁;电气接线严格按照二线制图纸,上电之后建议充分预热再做零点校准;禁止超额定压力冲击;如果测量腐蚀性气体,停用时用惰性气体吹扫内部;定期复查零点,若长期停用,做好端口封堵。拆装时保护抛光接头,防止磕碰损伤密封面。
售后服务整机质保十二个月,人为磕碰、管路杂质造成膜片损伤不在质保范围。可以提供选型、接线与现场校准指导;华中地区支持上门技术沟通;接头、配套线缆等配件常备库存,同时可协助安排第三方校准出具证书。
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