描述：日本 ADTEC AMVG 自动阻抗匹配装置单相电源这款面向等离子工艺的射频阻抗匹配设备，具备高速自动整合能力，能够快速跟随负载变化完成阻抗调节，降低反射功率。设备配套专用上位软件，可实时观测阻抗与功率状态，内置网络参数预设库。采用单相供电，风冷散热，可根据项目需求调整接口与匹配区间，适配半导体各类等离子制程，原厂检测出货，华中地区支持工艺对接调试。

日本 ADTEC AMVG 自动阻抗匹配装置单相电源日本 ADTEC AMVG 自动阻抗匹配装置单相电源

这款面向等离子工艺的射频阻抗匹配设备，具备高速自动整合能力，能够快速跟随负载变化完成阻抗调节，降低反射功率。设备配套专用上位软件，可实时观测阻抗与功率状态，内置网络参数预设库。采用单相供电，风冷散热，可根据项目需求调整接口与匹配区间，适配半导体各类等离子制程，原厂检测出货，华中地区支持工艺对接调试。

产品介绍

产品细节图

整机为金属箱体结构，外壳排布通风孔，尾部配有散热风扇；射频接口、通讯端子、供电端口分区布置，走线规整。可选独立遥控器，分为台式手持款与面板嵌入式款式，屏幕可以直接查看匹配状态、功率与故障代码；配套的电压传感器可单独加装，用于采集工艺波形。同系列不同功率机型外形布局保持一致，方便机柜标准化集成，洁净车间气柜、等离子腔体旁都可以布置安装。

产品性能搭载高速控制单元，负载变动时快速完成自动匹配，维持射频电源与工艺腔体之间能量传输稳定，减少反射功率波动。配套 AMV 专用软件，电脑端可以调出史密斯圆图，实时监控腔体阻抗、行波与反射功率，方便研发人员调试工艺、追溯异常。内置 LC 网络标准库，常用工况参数可以一键调用；通讯协议丰富，能够接入产线中控系统，也支持接口、匹配范围的定制开发。整机带有过热、过流保护，负载异常时及时触发保护，减少射频电源损坏风险。

用材主机壳体采用防锈金属板材，表面做防护处理；内部射频回路选用低损耗元件，电容、电感经过老化筛选；散热风扇寿命长，适合长时间连续运转；信号端子带有电磁屏蔽结构，降低现场射频干扰；遥控单元外壳为抗干扰金属壳体；射频接头加工精密，保证高频信号传输稳定。

参数表

表格

型号AMVG 为本系列代号，后缀区分功率，常见有 1000W、2000W、3000W、5000W、10kW、20kW 等规格。如果需要本地操作，选配 AMVG‑RCH1 手持遥控；想要嵌入机柜面板，则选用 AMVG‑RCM1；需要监测波形，搭配 VDC/Vpp 传感器。选型时确认射频频率、目标功率以及对接的射频电源品牌型号。

用途半导体刻蚀、沉积等离子工艺配套、光学镀膜等离子处理、材料表面改性设备、实验室射频等离子研发、各类需要射频阻抗动态匹配的工艺设备，用来稳定等离子状态，提升工艺重复性。

包装定制防震木箱，主机单独缓冲包裹，射频接头贴好保护盖；遥控器、传感器、通讯线缆分开分装；箱内附带出厂测试报告、操作手册、通讯协议文档；易磕碰射频接口额外包裹防护，防止密封面划伤。

使用说明安装位置远离强热源，保证通风顺畅；按照手册完成射频线缆与通讯线路连接，确认接地可靠；上电之后等待设备自检完成，再启动射频电源；使用配套软件调取预设网络参数，针对新工艺逐步优化匹配区间；运行期间留意散热状态，定期清理防尘网；如果更换腔体或者工艺，重新校准匹配参数。停机之后等待整机充分降温，再开展拆装维护。