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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATIONSONOSYS 兆声波电源清洗发生器 13407-091SONOSYS 兆声波电源清洗发生器 13407-091
这款兆声波驱动电源,支持指定频率输出,驱动配套换能器产生兆声波,用于光学基板精密清洗。输出振幅连续可调,运行稳定,适合半导体、光学元件精密除颗粒,华中地区可协助清洗工艺调试。
产品细节图主机为机柜式金属箱体,正面设置显示屏与操作按键,可查看输出状态、调节振幅;背部带有信号接口、功率输出接头、冷却风口;输出线缆连接外部兆声波换能器。设备带有过载保护,出现异常自动切断输出;配套换能器可安装在清洗槽底部或者侧面,整套可以集成至自动化清洗产线,设备壳体接地端子保证运行安全。产品性能电源产生高频电信号,驱动换能器将电能转化为高频机械振荡,在清洗液内部形成兆声波空化与微射流效应,剥离基板表面微小颗粒。这款机型支持三兆赫兹以及五兆赫兹输出,振幅在零至区间连续可调,操作人员根据基板材质、污染物类型设定输出强度。高频振荡相比低频超声,对基底的冲击更柔和,不容易损伤精细光学结构;电源具备频率追踪,自动匹配换能器谐振点,维持稳定输出,内置过热、过载保护。用材机柜为金属钣金;功率器件封装在散热结构;输出接头为高可靠射频接头;内部线路屏蔽;配套换能器外壳耐清洗药液腐蚀。参数表
表格
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | 13407-091 |
| 功能 | 兆声波清洗驱动电源 |
| 可选频率 | 3 MHz、5 MHz |
| 振幅调节 | 0–100% |
| 保护 | 过热、过载保护 |
| 配套 | 外接兆声波换能器 |
型号同编号电源可以搭配不同频率换能器,出厂按需求配置。选型确认清洗基板材质、槽体尺寸,选定频率,确认是否需要联动自动化信号。用途光学基板精密清洗、半导体晶圆颗粒去除、精密光学元件清洗、微结构器件清洗、产线湿法清洗工位配套。包装木箱防震,电源主机、换能器、输出线缆分开固定,接头加装保护帽,配套说明书、接线图纸。使用说明设备可靠接地,输出线缆连接牢固,换能器必须浸入清洗液体之后再开启功率输出,禁止空载长时间启动。缓慢调整振幅,先使用较低输出做工艺试验,避免过高能量损伤工件。运行时保证散热通畅,风口不要遮挡;定期检查线缆接头有无氧化、渗水;停机之后等待冷却再断开接线。
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