描述：韩国CSK超纯液体前驱体自动输送系统
它的核心作用是安全、连续地向半导体制造中的 CVD/ALD 等工艺设备供应超纯液体前驱体，例如用于薄膜沉积的 TEOS、TMA、钨前驱体等。系统自带*的安全装置，可避免化学废弃物泄漏，同时优化前驱体利用率，降低运营成本。

韩国CSK超纯液体前驱体自动输送系统

它的核心作用是安全、连续地向半导体制造中的 CVD/ALD 等工艺设备供应超纯液体前驱体，例如用于薄膜沉积的 TEOS、TMA、钨前驱体等。系统自带*的安全装置，可避免化学废弃物泄漏，同时优化前驱体利用率，降低运营成本。

韩国CSK超纯液体前驱体自动输送系统

品牌：韩国 CSK（Cheongju System Kinetics），是半导体设备领域的专业厂商。

系列：LDS 系列（Liquid Delivery System）。

具体型号：从外观来看，这是 CSK 的LDS 标准柜式机型，其完整型号通常根据源瓶数量、介质类型、输送压力等参数划分，如 LDS-2000/LDS-3000 等。图中展示的是双瓶位大容量机型，属于 LDS 系列的主流产品。

关键设计与特点

安全防护：柜体为不锈钢材质，具备防爆、防泄漏、防火设计，顶部带有三色状态指示灯，支持压力监测、气体泄漏报警。

自动化控制：配备触摸屏操作界面，支持自动换瓶、压力控制、流量调节和废液回收。

高效洁净：采用高洁净度管路和阀门，确保输送过程中液体前驱体的纯度，减少颗粒污染，符合半导体工艺的高洁净度要求。

 主要应用场景

这类设备主要用于：

半导体晶圆厂的 CVD/ALD 工艺

显示面板制造的薄膜沉积工艺

需要稳定供应超纯液体化学品的精密制造场景

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