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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION韩国DK-LOK半导体级高纯直通式止回阀单向阀
品牌:DK-LOK(韩国得立克,韩国本土高纯流体管阀件龙头,全球对标世伟洛克 Swagelok)
类目归属:半导体产品 → 配件分类 → 活塞系列 → 止回阀(单向阀)产品线
完整型号:BCW
同系列衍生型号:VCW(同结构不同密封 / 开启压力版本)
韩国DK-LOK半导体级高纯直通式止回阀单向阀
产品结构与工作原理
1. 本体结构
为直通式弹簧活塞软密封止回阀,一体式精密锻造阀体,两端为标准外螺纹直通对接结构,阀体表面刻印专属流向箭头,严格限定介质单向流通方向,杜绝安装反向。
内部核心结构:活塞阀芯 + 精密恒力弹簧 + 软密封阀座,无外露活动零部件,整体结构极度紧凑,内部流道做流线型大流通优化,原生极小死区设计。
2. 工作原理
依靠管路内介质自身气压自动启闭,无需外接气源、无需电动控制、无额外驱动。
正向导通:当进口侧介质压力>原厂预设开启压力时,气压顶开内部活塞阀芯,压缩弹簧,阀门打开,介质顺畅流通;
反向锁闭:当出口侧压力>进口侧、出现气体倒流时,反向压力配合弹簧回弹推力,将阀芯紧密压合在阀座上,实现密封阻断,防止管路气体倒流、上下游串气、工艺腔体倒灌、气源交叉污染。
四、完整技术参数详情
阀体材质:主体一体锻造 316L 不锈钢,原厂整机本体材质均匀无拼接,抗腐蚀、结构强度高。
表面洁净处理:全阀体EP 电解抛光处理,内壁 Ra≤0.6μm 超低粗糙度,原厂超纯水洁净清洗,全程百级洁净车间组装、气密检测、真空洁净封装,减少气体吸附、水汽析出、颗粒粉尘产生,半导体 6N 及以上超高纯气体工况标准。
内部密封材质:阀座采用PCTFE 耐高低温软密封,适配绝大多数半导体腐蚀性特气(含氟、含碳前驱体、酸性工艺气体),耐化学腐蚀、抗老化、密封寿命长,多次启闭密封性能不衰减。
内部弹簧材质:埃尔吉洛伊 Elgiloy 合金弹簧,抗疲劳、耐腐蚀,弹簧弹力恒定,长期使用开启压力无漂移,循环启闭寿命高。
压力等级:最高工作耐压 6000 psig(413bar),覆盖半导体特气系统全高低压工况。
工作温度范围:-40℃ ~ +200℃,宽温域适配,兼容低温气源、高温工艺管路环境。
开启压力:原厂固定标准低开启压力,小压差即可灵敏开启,流通阻力极小,兼顾低压气路灵敏启闭与高压工况稳定密封。
连接接口:标准外螺纹接口,兼容 NPT、ISO 公制螺纹规格,同时可对接焊接管、双卡套管路转接,适配特气面板、机台气路、气柜全场景管路对接。
口径覆盖:覆盖 1/8"、1/4"、3/8"、1/2" 全系列半导体常用小口径管路规格。
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