SSBL‑37.5A KLZ日本 Technomate 泰克诺梅特 气动高压泵
日本 Technomate 泰克诺梅特 气动高压泵SSBL‑37.5A KLZ 为空气驱动式柱塞高压泵,专为半导体工艺开发,无需电机,适配防爆防火工况。最高吐出压力可达 17.6MPa,吐出流量 0.58L/min,适配纯水、IPA、NMP 等晶圆清洗溶剂。接液部 SUS316 不锈钢,密封可选 FKM/Kalrez,体积小巧适合设备内置集成,广泛用于晶圆高压喷射清洗、光刻胶剥离
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更新日期
2026-09-11 - 02
厂商性质
代理商 - 03
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2026-09-09





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