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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION韩国DK-LOK压力止回阀半导体气路精密安全阀
品牌:DK-LOK(韩国得立克),韩国高纯流体管阀件品牌,半导体特气管路系统核心阀件原厂,对标国际品牌 Swagelok。
类目归属:半导体产品 → 配件 → 活塞系列 → 止回阀(单向逆止阀)
完整型号:VCW
同系列兄弟型号:BCW(基础标准版),为本型号的基础款版本
产品全称:半导体高纯可调开启压力活塞式直通止回阀(精密单向阀 / 逆止阀)
韩国DK-LOK压力止回阀半导体气路精密安全阀
V:Variable 可调式(核心特征,开启压力可精准调节,区别于 BCW 固定压力版本)
C:Clean 半导体洁净级(EP 电解抛光高洁净规格,适配超高纯特气工况)
W:Soft-seal Piston 软密封活塞结构(内部阀芯活塞 + 软密封阀座结构,低泄漏、高密封性能)
三、产品外观与结构详解
产品为两端外螺纹直通一体式锻造结构,阀体中段六方安装夹持位,本体刻印流向箭头,严格限定介质单向流通方向,从源头防止安装反向。
内部核心结构:可调压力活塞阀芯 + 精密调节弹簧组件 + 高耐腐蚀软密封阀座。
整体结构极度紧凑无多余冗余腔体,内部流线型大流通流道,原生超低死区设计,无气体滞留死角,适配半导体超高纯气体、腐蚀性工艺气体输送。
四、工作原理
纯被动式自力型阀门,无需外接电源、无需外接气源驱动,依靠管路介质自身气压实现自动启闭控制:
正向导通:当进口侧介质压力>阀门预设可调开启压力时,气压顶开内部活塞阀芯,压缩内部调节弹簧,阀门开启,介质顺畅流通。
反向锁闭:当管路出现倒流、出口侧压力>进口侧压力时,反向压力配合弹簧回弹力,将阀芯紧密压合密封阀座,实现零气泡级严密关断,阻断反向气流,防止上下游串气、气源交叉污染、工艺腔体气体倒灌。
专属可调特性:可通过原厂内部调节结构,精准自定义阀门开启压力数值,适配不同工况的低压触发、高压保压专属需求,灵活性远高于固定压力的 BCW 基础款。
五、原厂完整技术参数
阀体材质:一体精密锻造 316L 不锈钢,本体结构强度高,抗机械应力、抗应力腐蚀开裂性能优异。
洁净等级处理:全阀体EP 级电解抛光,内壁粗糙度 Ra≤0.6μm,原厂超纯水洁净清洗,百级洁净车间组装、全流程气密检测、真空洁净封装,适配半导体 6N(99.9999%)超高纯气体、各类腐蚀性工艺特种气体,无颗粒析出、无气体吸附二次污染。
内部密封材质:阀座采用 PCTFE(三氟氯树脂) 软密封,耐绝大多数半导体特气(含氟气体、金属有机前驱体、酸性 / 碱性腐蚀性气体),耐高低温、抗老化、长期密封无衰减。
内部弹簧材质:Elgiloy(埃尔吉洛伊)钴基合金弹簧,抗疲劳、耐强腐蚀、弹力长期恒定无漂移,百万次循环启闭开启压力无偏差。
压力等级:最高工作耐压 6000 psig(413bar),覆盖半导体特气系统全高低压工况。
工作温度范围:-40℃ ~ +200℃,宽温域适配低温气源、高温工艺管路全场景。
口径规格:覆盖半导体全常用小口径 1/8"、1/4"、3/8"、1/2" 管路规格。
接口形式:标准外螺纹接口(NPT 公制外螺纹),可直接对接双卡套接头、对焊管路、集成气路面板转接。
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